技術領域

本實用新型涉及硅片制絨領域，具體而言，涉及一種單面腐蝕制絨設備。

背景技術

現有的制絨工藝和設備都是將硅片完全浸沒在藥液里面，達到去除硅片損傷層及制絨的效果，但是在后續擴散工藝中是單面擴散，只對擴散面的絨面形態有要求，因此，只需要對擴散面的進行制絨就可以滿足硅片的使用，并且雙面腐蝕制絨工藝降低了硅片的厚度、浪費了化學品藥液，這種雙面腐蝕制絨的設備具有效率低，能耗高的缺點。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種單面腐蝕制絨設備，以改善上述問題。

本實用新型是這樣實現的：

一種單面腐蝕制絨設備，包括制絨槽和傳送裝置，所述傳送裝置包括若干水平布置于所述制絨槽內的帶液滾筒和驅動帶液滾筒轉動的驅動裝置，所述帶液滾筒垂直于制絨槽的前側壁和后側壁，所述制絨槽包括進料口和出料口，所述進料口和出料口處均設有液位調節裝置。

在制絨過程中，帶液滾筒將硅片從進料口運送到出料口，在此過程中，硅片浸泡在制絨液中，為避免硅片上表面與制絨液接觸，在進料口和出料口均設置液位調節裝置，通過液位調節裝置來控制制絨槽內制絨液的液位高度，使液位始終保持在剛好完全浸泡硅片下表面處，這樣就既保證了硅片只有下表面與制絨液接觸，又減小了制絨液對硅片在從進料口到出料口的運動過程的阻力，從而更好的達到了單面制絨的效果。這種單面腐蝕制絨設備提高了對硅片的制絨效率，節約了制絨液中的化學藥液。

進一步地，所述液位調節裝置包括高度可調的擋液板，所述制絨槽包括左側壁和右側壁，所述左側壁和右側壁上均設有所述擋液板。

左側壁和右側壁上均設有高度可調的擋液板，通過改變擋液板與制絨槽的左側壁和右側壁的相對位置，從而達到調整擋液板高度的效果。由于制絨槽中的制絨液是一直處于循環狀態，所以擋液板的高度就決定了制絨槽內制絨液的液位高度，這樣就實現了通過調整擋液板的高度來控制制絨液的液位高度。

進一步地，所述擋液板上開有若干條形通孔，所述條形通孔的長度方向與制絨槽的高度方向一致，所述左側壁和右側壁均開有若干螺紋孔，螺釘穿過條形通孔與制絨槽上的螺紋孔配合將擋液板固定于制絨槽上。

調節擋液板高度時，擰松螺釘后，將擋液板調節到與硅片下表面等高的位置，擰緊螺釘，從而將擋液板固定于制絨槽上。這種調節結構易加工，調節方式簡單、方便。

進一步地，所述左側壁和所述右側壁等高，所述左側壁和所述右側壁的頂端均低于所述帶液滾筒上緣。

制絨槽的左側壁和右側壁等高設置，方便了制絨槽加工制造。制絨槽的左側壁和右側壁的頂端低于帶液滾筒上緣，可實現通過調節擋液板的高度將制絨液的液位控制于硅片下表面處。

進一步地，所述擋液板頂部為斜面，所述斜面較高一側靠近所述帶液滾筒，所述斜面與水平面夾角為30-60度。

擋液板頂端調節到與硅片下表面平齊后，制絨槽內的制絨液的液位始終與擋液板的頂端平齊，由于制絨槽內的液體一直處于循環狀態，因此，制絨槽內多余的制絨液將會沿擋液板頂部流出，為避免在制絨液經擋液板頂部流出制絨槽的過程中制絨液發生濺射現象，將擋液板頂部設置為斜面。制絨槽中溢出的制絨液從擋液板頂部斜面的較高處流向較低處，從而起到導流的作用。

進一步地，所述斜面與水平面夾角為45度。

擋液板頂部的斜面與水平面所成的夾角不同，斜面的導流效果也會有所不同，經過發明人的反復實驗證明，當擋液板頂部的斜面與水平面的夾角為45度時，斜面的導流效果最佳。

進一步地，所述帶液滾筒上設有螺旋結構，所述傳送裝置中的兩個相鄰的帶液滾筒的螺旋結構旋向相反。

在對硅片制絨的過程中，通過驅動裝置帶動帶液滾筒轉動，從而將硅片從進料口運送到出料口，在硅片運動過程中，硅片下表面與制絨液接觸，從而達到制絨的效果。為使硅片下表面能夠與制絨液更好接觸，在帶液滾筒上設置螺旋結構。帶液滾筒轉動時，帶液滾筒中的螺旋結構帶動更多的制絨液對硅片表面進行腐蝕，同時，帶液滾筒能夠充分帶走硅片與制絨液發生化學反應而產生的熱量，保證了絨面的均勻性和穩定性。帶液滾筒上設置螺旋結構后，硅片在帶液滾筒的作用下從進料口到出料口運動的過程中，硅片會受到沿帶液滾筒軸線方向上的螺旋推力，在螺旋推力的作用下，硅片會沿帶液滾筒軸線方向移動，偏離預定軌跡。因此，將傳送裝置中的兩個相鄰的帶液滾筒的螺旋結構的旋向設為相反。

進一步地，還包括噴淋裝置，所述噴淋裝置設于所述帶液滾筒上方靠近所述制絨槽的出料口處。