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[發(fā)明專利]激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201510097968.5 申請日: 2015-03-04
公開(公告)號: CN104746041B 公開(公告)日: 2018-02-13
發(fā)明(設(shè)計)人: 張俊;李躍松 申請(專利權(quán))人: 深圳清溢光電股份有限公司
主分類號: C23C16/44 分類號: C23C16/44;C23C14/28
代理公司: 深圳中一專利商標事務(wù)所44237 代理人: 張全文
地址: 518000 廣東省深圳市高*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 激光 沉積 方式 修補 缺陷 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于,包括:

在靠近所述白缺陷的一角設(shè)置修補起點,在靠近所述白缺陷的所述修補起點的對角設(shè)置修補終點,使得在所述白缺陷所在平面上,以所述修補起點沿橫向延伸的直線、所述修補起點沿縱向延伸的直線、所述修補終點沿橫向延伸的直線、所述修補終點沿縱向延伸的直線圍成的區(qū)域為掃描修補區(qū)域,所述白缺陷完全位于所述掃描修補區(qū)域內(nèi);

采用激光氣相沉積方式在所述掃描修補區(qū)域內(nèi)從所述修補起點掃描修補至所述修補終點,使所述白缺陷表面完全覆蓋修補薄膜完成所述修補;

所述掃描修補的速度為7~11μm/s,所述掃描修補的過程中激光功率為1.8~2.2mw;所述掃描修補采用的載流氣體的壓強為0.15~0.20mPa,流量比為40-60%。

2.如權(quán)利要求1所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于,所述采用激光氣相沉積方式在所述掃描修補區(qū)域內(nèi)從所述修補起點掃描修補至所述修補終點的過程包括:

從所述修補起點沿橫向掃描修補至所述掃描修補區(qū)域的另一側(cè),在經(jīng)過的區(qū)域的表面覆蓋一層所述修補薄膜;

從所述修補起點沿縱向移動一行,沿橫向從所述掃描修補區(qū)域的一側(cè)掃描修補至所述掃描修補區(qū)域的另一側(cè),在經(jīng)過的區(qū)域的表面覆蓋一層所述修補薄膜,重復該步驟直到掃描修補到所述修補終點。

3.如權(quán)利要求2所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于:相鄰兩行所述修補薄膜的沿縱向的重疊區(qū)域的尺寸為2~4μm。

4.如權(quán)利要求1所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于,所述采用激光氣相沉積方式在所述掃描修補區(qū)域內(nèi)從所述修補起點掃描修補至所述修補終點的過程包括:

從所述修補起點沿縱向掃描修補至所述掃描修補區(qū)域的另一側(cè),在經(jīng)過的區(qū)域的表面覆蓋一層所述修補薄膜;

從所述修補起點沿橫向移動一列,沿縱向從所述掃描修補區(qū)域的一側(cè)掃描修補至所述掃描修補區(qū)域的另一側(cè),在經(jīng)過的區(qū)域的表面覆蓋一層所述修補薄膜,重復該步驟直到掃描修補到所述修補終點。

5.如權(quán)利要求4所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于:相鄰兩列所述修補薄膜的沿橫向的重疊區(qū)域的尺寸為2~4μm。

6.如權(quán)利要求1所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于:所述修補起點沿縱向延伸的直線距與其相鄰的所述白缺陷的一側(cè)的距離為10~20μm,所述修補起點沿橫向延伸的直線距與其相鄰的所述白缺陷的一側(cè)的距離為5~10μm;所述修補終點沿縱向延伸的直線距與其相鄰的所述白缺陷的一側(cè)的距離為10~20μm,所述修補終點沿橫向延伸的直線距與其相鄰的所述白缺陷的一側(cè)的距離為5~10μm。

7.如權(quán)利要求1所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于:激光的照射區(qū)域為長18~24μm,寬6~9μm的區(qū)域。

8.如權(quán)利要求1~7任一項所述的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法,其特征在于:所述掃描修補的過程還伴隨有抽廢氣的過程,所述抽廢氣的過程包括抽走并加熱所述廢氣使所述廢氣排放,抽走所述廢氣的流量為16~20L/min。

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