技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于晶體硅太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，尤其是一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著太陽(yáng)能電池生產(chǎn)技術(shù)的不斷提升，對(duì)于太陽(yáng)能電池產(chǎn)品的質(zhì)量以及成本提出了新的要求。制絨工藝是太陽(yáng)能電池整個(gè)工藝生產(chǎn)線中最為重要的一環(huán)，其目的是為了去除切割后硅片的表面損傷層，同時(shí)通過(guò)化學(xué)腐蝕的方法在硅片表面進(jìn)行織構(gòu)化處理，形成良好的陷光效應(yīng)，從而降低硅片表面反射率，提高短路電流，最終提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。目前，對(duì)于鏈?zhǔn)蕉嗑Ч璧闹平q一般都是利用硝酸的強(qiáng)氧化性與氫氟酸的絡(luò)合性，對(duì)硅片進(jìn)行氧化和絡(luò)合剝離，導(dǎo)致硅片表面發(fā)生各向同性非均勻性腐蝕，形成蜂窩狀絨面，從而增加入射光的反射次數(shù)，有效增強(qiáng)了入射太陽(yáng)光的利用率，提高了光生電流密度。目前，鏈?zhǔn)蕉嗑Ч璧闹平q設(shè)備主要采用多個(gè)反應(yīng)道同時(shí)進(jìn)行的制絨槽，其缺點(diǎn)在于：由于硝酸、氫氟酸與硅片反應(yīng)時(shí)放出大量熱量，導(dǎo)致制絨槽中心的反應(yīng)道溫度高于其他區(qū)域，而硅片與酸的反應(yīng)速率與溫度成正比關(guān)系，溫度分布不均勻會(huì)造成各反應(yīng)道減薄量的不均勻，不均勻減薄會(huì)造成不同的比表面積，PE端相同的沉積速率下，不同的比表面積生產(chǎn)不一致的膜厚，最終造成顏色分布離散，影響成品率。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，使硅片在正常制絨過(guò)程中，各個(gè)反應(yīng)道內(nèi)的溫度分布均勻，確保各個(gè)反應(yīng)道內(nèi)的硅片減薄量的均勻性，提高硅片成品率。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，包括制絨槽，所述制絨槽內(nèi)設(shè)有反應(yīng)道，所述反應(yīng)道內(nèi)由上往下依次設(shè)有位于制絨槽內(nèi)藥液液位下方的壓輪與滾輪，硅片在滾輪和壓輪之間移動(dòng)并進(jìn)行制絨；還包括一儲(chǔ)液槽，所述儲(chǔ)液槽通過(guò)一輸液管將儲(chǔ)液槽內(nèi)的藥液輸送到所述制絨槽內(nèi)，位于所述制絨槽內(nèi)的輸液管上設(shè)有若干第一噴孔，所述制絨槽通過(guò)溢流管以及回流管將所述制絨槽內(nèi)的藥液輸送到儲(chǔ)液槽內(nèi)，所述儲(chǔ)液槽內(nèi)的藥液通過(guò)熱交換毛細(xì)管與一冰機(jī)形成熱交換，所述反應(yīng)道至少有三個(gè)，位于制絨槽兩端的反應(yīng)道之間的其他每條反應(yīng)道上各設(shè)有一噴淋裝置。

噴淋裝置的一種設(shè)置方式，所述噴淋裝置包括與所述儲(chǔ)液槽相連通的噴淋管道，位于反應(yīng)道上方的噴淋管道上設(shè)有若干第二噴孔，所述第二噴孔位于所述制絨槽內(nèi)的藥液液位上方。

進(jìn)一步，控制噴淋裝置中低溫藥液的流量，所述噴淋管道上還設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥。

進(jìn)一步，所述噴淋管道通過(guò)第一泵浦與所述儲(chǔ)液槽相連接，第一泵浦為噴淋管道提供所述儲(chǔ)液槽內(nèi)的低溫藥液提供動(dòng)力。

進(jìn)一步，所述輸液管上設(shè)有第二泵浦，所述第二泵浦為輸液管提供所述儲(chǔ)液槽內(nèi)的低溫藥液提供動(dòng)力。

進(jìn)一步，所述輸液管上的若干第一噴孔位于所述滾輪下方。

進(jìn)一步，所述熱交換毛細(xì)管位于所述儲(chǔ)液槽內(nèi)的藥液液位下方，熱交換效率高。

進(jìn)一步，所述輸液管上設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)通過(guò)輸液管?chē)娚涞乃幰簢娚淞髁俊?/p>

儲(chǔ)液槽內(nèi)的藥液通過(guò)熱交換毛細(xì)管與冰機(jī)形成熱交換，降低儲(chǔ)液槽內(nèi)的藥液溫度從而形成低溫藥液，硅片與酸在反應(yīng)過(guò)程中，釋放出大量熱量，提高了制絨槽藥液的溫度從而形成高溫藥液，為了使制絨槽的各個(gè)反應(yīng)道的溫度均勻，通過(guò)輸液管以及噴淋管道將儲(chǔ)液槽內(nèi)的低溫藥液噴射到反應(yīng)道上，由于輸液管位于滾輪下方，噴淋管道位于制絨槽的藥液液位上方，可以有效的降低中間的每條反應(yīng)道的溫度，使制絨槽的溫度更均勻。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下有益效果：1、通過(guò)噴淋管道與輸液管的噴射低溫藥液，有利于降低制絨槽內(nèi)中間的反應(yīng)道的溫度，從而使制絨槽內(nèi)的溫度均勻，使在制絨槽內(nèi)進(jìn)行制絨過(guò)程中的硅片減薄量均勻，顏色分布均勻，成品率高；2、整個(gè)系統(tǒng)簡(jiǎn)單，操作方便，成本低；3、在系統(tǒng)內(nèi)安裝有第一調(diào)節(jié)閥與第二調(diào)節(jié)閥，流量的控制更加可靠，成品率更佳。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施例1中系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。

圖2是實(shí)施例1中系統(tǒng)的俯視圖。

圖3是實(shí)施例2中系統(tǒng)的俯視圖。

圖4是實(shí)施例3中系統(tǒng)的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

實(shí)施例1：