技術領域

本實用新型涉及一種硅片清洗設備，特別是一種適用于非自吸式泵的循環清洗槽。

背景技術

現階段多數太陽能電池均以半導體材料為基礎，讓光電材料吸收光能，再從光電轉化效應中獲得電能。晶體硅片有較好的光電轉化效率，污染隱患又比較小，故在本領域的應用最為廣泛。在太陽能電池的晶體硅制作過程中，必須祛除晶體硅片表面的雜質，以保證后續的加工能在一個潔凈光滑的晶體硅片表面上進行。

在現有技術中，不少用戶會使用帶循環管道的清洗槽來清洗晶體硅片，清洗槽中裝有液體狀的介質，這樣既能用流動中的介質來清洗晶體硅片以獲得更好的清洗效果和提高清洗效率，又能節省介質。圖1所示的為這種清洗槽的一般結構，槽體1的底部焊接有將其與循環泵3的入口端連通的循環管道2，循環泵3的出口端與回流管道4連接，回流管4在槽體1頂部重新接入槽體1內，形成一個閉合的介質回路；連接了介質源(附圖未展示)并自帶閥門的入口管道5在槽體1的頂部接入槽體1，在必要的時候，為槽體1供應新的介質。

該結構的主要缺點在于，由于循環泵多數為非自吸式泵，介質往往需要通過自重流入循環管道和循環泵內，這樣便會經常讓循環管道和槽體焊接的部位承受較大的壓力，容易導致材料損壞和介質泄露；此外，在槽體的底部開孔，再在開孔處將槽體與循環管道焊接在一起，不僅工序復雜，也不便于循環管道的維修和更換。由于介質多為酸堿腐蝕性液體，一旦泄露會造成很嚴重的安全隱患。因此清洗槽結構的可靠性直接關系到操作人員的安全，有必要改進現有技術中的清洗槽結構，以提高其可靠性和安裝更換的便利性。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種將介質通過循環管道引流至循環泵時不會因為產生過大壓力破壞循環管道和槽體的焊接部位的清洗槽結構。

為達到該目的，本實用新型采取的技術方案是：一種循環清洗槽，包括槽體、循環管道、循環泵和回流管道，槽體內裝有清洗晶體硅片用的介質，循環管道連通槽體和處于槽體外部的循環泵的入口端，循環泵的出口端連通回流管道，回流管道重新接入槽體內，實現槽體內的介質的循環；槽體的頂部還設有帶閥門的入口管道，入口管道將介質液源和槽體連通；其特征在于，循環管道從槽體內部延伸到槽體頂部，在槽體頂部分出后延伸向循環泵并與循環泵連接，入口管道在槽體的頂部連接到循環管道中，形成入口管道和循環管道的一體式結構。

上述結構的優選方案為：循環泵所處位置的垂直高度低于槽體的底部，回流管道在槽體的頂部重新接入槽體，循環管道從槽體頂部分出的位置與回流管道在槽體頂部重新接入槽體的位置分別處于槽體內部相對的兩側，循環管道處于槽體內的部分的長度值大于槽體高度值的1/2；此外，所述的循環泵應為非自吸式泵。

上述結構帶來的有益效果是：

1.用一體式結構組合連通介質液源的入口管道和循環管道，將循環管道從槽體上分出的位置以及入口管道接入循環管道的位置設于槽體的底部，再將循環泵設在低于槽體底部的位置，讓來自介質液源的介質通過入口管道注滿整個循環管道，切斷入口管道的閥門后，槽體內的介質便會因為液體分子之間的粘附特性而跟隨循環管道內的介質流向處于較低的位置的循環泵，只要開動循環泵，便能啟動整個清洗槽的循環工作，讓流過循環泵的介質通過回流管道重新進入槽體；這種結構利用入口管道的主動注液功能和液體的虹吸原理，將槽體內的介質引流至循環泵，使介質不通過重力直接進入循環管道，解決了介質進入循環管道時壓力過大破壞循環管道和槽體的焊接部位的問題。

2.將循環管道從槽體頂部分出的位置與回流管道在槽體頂部重新接入槽體的位置分別設置于槽體內部相對的兩側，確保從回流管道重新進入槽體內部的介質要經過較長時間才被再次引流入循環管道和循環泵，使循環更徹底。

附圖說明

圖1是現有技術的循環清洗槽的結構示意圖；

圖2是本實用新型的循環清洗槽的結構示意圖；

附圖標記：1.槽體；2.循環管道；3.循環泵；4.回流管道；

5.入口管道；6.閥門；7.介質。

具體實施方式

如圖2所示的是本實用新型的循環清洗槽，與現有技術相同的是，它包括槽體1和循環管道2，槽體1內裝有清洗晶體硅片用的介質7，循環管道2連通槽體1和處于槽體1外部的循環泵3的入口端，循環泵3的出口端連通回流管道4，回流管道4重新接入槽體1內，實現槽體1內介質7的循環。