1.一種硼擴散爐防止粘連的反應氣自熱式爐門，其特征在于：包括有換熱盤管（7）、熱電偶（6）和溫度巡檢儀（10），所述換熱盤管（7）位于靠近爐門內壁處，換熱盤管（7）的一端設置于擴散爐抽排的出氣管端，換熱盤管（7）的另一端連接到真空泵（11）；所述熱電偶（6）設置于換熱盤管（7）的附近，測溫點置于換熱管盤附近；所述熱電偶（6）的信號線（9）穿過爐門連接至硼擴散爐外部的溫度巡檢儀（10）。

2.根據權利要求1所述的一種硼擴散爐防止粘連的反應氣自熱爐門，其特征在于：所述換熱盤管（7）呈螺旋圈狀。

3.根據權利要求1所述的一種硼擴散爐防止粘連的反應氣自熱式爐門，其特征在于：所述換熱盤管（7）和爐門外壁之間填充有保溫材料（8）。

4.根據權利要求1所述的一種硼擴散爐防止粘連的反應氣自熱爐門，其特征在于：所述爐門為石英爐門（2），石英爐門（2）外套接有鋼外套（3）。