本發(fā)明涉及一種在復(fù)合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法，包括：在復(fù)合玻璃基板上制備第一掩蔽層，第一掩蔽層用于掩蔽除第一顏色LED生長區(qū)域之外的其它區(qū)域；在第一顏色LED生長區(qū)和第一掩蔽層上淀積第一顏色外延層，形成第一顏色LED；去除第一掩蔽層和第一掩蔽層上的第一顏色外延層；制備第二掩蔽層，第二掩蔽層用于掩蔽除第二顏色LED生長區(qū)域之外的其它區(qū)域；在第二顏色LED生長區(qū)和第二掩蔽層上淀積第二顏色外延層，形成第二顏色LED；去除第二掩蔽層和第二掩蔽層上的第二顏色外延層；對復(fù)合玻璃基板的表面進(jìn)行研磨，清洗和電學(xué)測試。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種在復(fù)合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法。

背景技術(shù)

在一般LED視頻顯示板制造過程中，由于受制于一般性電子加工的后工序，譬如需要對LED晶片先實(shí)施封裝，然后再進(jìn)行雙列直插式封裝(dual inline-pin package，DIP)或表面貼裝(Surface Mount Technology，SMT)組裝等等，已經(jīng)使LED行業(yè)沒有問津超小晶片的制作的必要，而這正是LED在超高密度上沒有機(jī)會(huì)發(fā)揮其超高亮長壽命性能穩(wěn)定等優(yōu)勢，去覆蓋類似高分辨率的手機(jī)屏幕的視頻顯示領(lǐng)域的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種在復(fù)合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種在復(fù)合玻璃基板上制造視頻顯示板用多色LED的方法，包括：

在復(fù)合玻璃基板上制備第一掩蔽層，所述第一掩蔽層用于掩蔽除第一顏色LED生長區(qū)域之外的其它區(qū)域；

在所述第一顏色LED生長區(qū)和第一掩蔽層上淀積第一顏色外延層，形成第一顏色LED；所述第一顏色外延層包括第一顏色N型外延層和第一顏色P型外延層；

去除所述第一掩蔽層和所述第一掩蔽層上的第一顏色外延層；

制備第二掩蔽層，所述第二掩蔽層用于掩蔽除第二顏色LED生長區(qū)域之外的其它區(qū)域；

在所述第二顏色LED生長區(qū)和第二掩蔽層上淀積第二顏色外延層，形成第二顏色LED；所述第二顏色外延層包括第二顏色N型外延層和第二顏色P型外延層；

去除所述第二掩蔽層和所述第二掩蔽層上的第二顏色外延層；

對所述復(fù)合玻璃基板的表面進(jìn)行研磨，清洗和電學(xué)測試。

優(yōu)選的，所述復(fù)合玻璃基板包括：玻璃基板和容置于所述玻璃基板一側(cè)的磊晶襯片；

所述第一掩蔽層、第二掩蔽層和第三掩蔽層均制備與所述磊晶襯片一側(cè)。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述磊晶襯片包括：

SiC襯片、Al₂O₃襯片或GaAs襯片中的任一種。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述在復(fù)合玻璃基板上制備第一掩蔽層具體包括：

在所述復(fù)合玻璃基板上物理氣相沉積SiO₂；

對所述SiO₂進(jìn)行臺階Mesa光刻，露出所述第一顏色LED生長區(qū)的SiO₂；

對所述第一顏色LED生長區(qū)的SiO₂進(jìn)行刻蝕，用以在所述第一顏色LED生長區(qū)內(nèi)露出所述磊晶襯片。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述制備第二掩蔽層具體包括：

在所述復(fù)合玻璃基板上物理氣相沉積SiO₂；

對所述SiO₂進(jìn)行臺階Mesa光刻，露出所述第二顏色LED生長區(qū)的SiO₂；