[發明專利]力檢測裝置、機器人、電子部件輸送裝置及檢查裝置有效
| 申請號: | 201410583846.2 | 申請日: | 2014-10-27 |
| 公開(公告)號: | CN104596676B | 公開(公告)日: | 2019-03-26 |
| 發明(設計)人: | 齋藤英俊;松本隆伸;神谷俊幸;岡秀明;河合宏紀 | 申請(專利權)人: | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號: | G01L1/16 | 分類號: | G01L1/16;B25J13/08 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艷君;李洋 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 裝置 機器人 電子 部件 輸送 檢查 | ||
1.一種力檢測裝置,其特征在于,具備:
第一基部;
第二基部;以及
第一元件、第二元件、第三元件以及第四元件,在所述第一基部與所述第二基部之間相對于所述第一基部和所述第二基部傾斜或者垂直配置,將根據外力而輸出的電荷轉換為電壓,并根據所述電壓來檢測所述外力,
所述第一元件、所述第二元件、所述第三元件以及所述第四元件分別通過將具有根據所述外力而輸出的電荷的極化軸的多個傳感器層疊來構成,
在將所述多個傳感器的層疊方向設為γ軸方向,將與所述γ軸方向正交且相互正交的方向分別設為α軸方向、β軸方向的情況下,
所述多個傳感器包括根據向所述α軸方向的所述外力而輸出所述電荷的α軸用傳感器、和根據向所述β軸方向的所述外力而輸出所述電荷的β軸用傳感器,
所述第一元件的所述α軸用傳感器的所述極化軸的方向與所述第三元件的所述α軸用傳感器的所述極化軸的方向朝向相反方向,
所述第一元件的所述β軸用傳感器的所述極化軸的方向與所述第三元件的所述β軸用傳感器的所述極化軸的方向朝向相反方向,
所述第二元件的所述α軸用傳感器的所述極化軸的方向與所述第四元件的所述α軸用傳感器的所述極化軸的方向朝向相反方向,
所述第二元件的所述β軸用傳感器的所述極化軸的方向與所述第四元件的所述β軸用傳感器的所述極化軸的方向朝向相反方向。
2.根據權利要求1所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述力檢測裝置取得從所述第一元件以及所述第三元件輸出的所述電壓的差量。
3.根據權利要求2所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述力檢測裝置取得從所述第二元件以及所述第四元件輸出的所述電壓的差量。
4.根據權利要求1~3中任意一項所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述第一元件的所述β軸用傳感器的極化軸的方向與所述第三元件的所述β軸用傳感器的極化軸的方向在同一軸上。
5.根據權利要求4所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述第二元件的所述β軸用傳感器的極化軸的方向與所述第四元件的所述β軸用傳感器的極化軸的方向在同一軸上。
6.根據權利要求1~3中任意一項所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述多個傳感器中的至少一個是根據向所述γ軸方向的所述外力而輸出所述電荷的γ軸用傳感器。
7.根據權利要求1~3中任意一項所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述多個傳感器的每個具有:
第一壓電體層,其具有第一晶軸;
第二壓電體層,其與所述第一壓電體層對置設置且具有第二晶軸;以及
輸出電極層,其設在所述第一壓電體層與所述第二壓電體層之間,
所述第一壓電體層的所述第一晶軸的方向與所述第二壓電體層的所述第二晶軸的方向朝向相反方向。
8.根據權利要求7所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述第一壓電體層以及所述第二壓電體層由水晶構成。
9.根據權利要求1所述的力檢測裝置,其特征在于,
所述第一元件、所述第二元件、所述第三元件以及所述第四元件的每一個在所述第一基部或者所述第二基部的周向以等角度間隔配置。
10.一種機器人,其特征在于,具備:
至少一個臂連結體,其具有多個臂,并將所述多個臂的相鄰的臂彼此以轉動自如的方式連結而成;
末端執行器,其設在所述臂連結體的前端側;以及
權利要求1至9中任意一項所述的力檢測裝置,其設在所述臂連結體與所述末端執行器之間,并檢測所述末端執行器被施加的外力。
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