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[發明專利]真空鍍膜用實時膜厚修正板及其控制方法有效

專利信息
申請號: 201410577335.X 申請日: 2014-10-24
公開(公告)號: CN104313537A 公開(公告)日: 2015-01-28
發明(設計)人: 張殷;鄧琪;張小飛;王靜輝;呂子嘯 申請(專利權)人: 杰萊特(蘇州)精密儀器有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 山西五維專利事務所(有限公司) 14105 代理人: 雷立康
地址: 215600 江蘇省蘇州市張家*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 真空鍍膜 實時 修正 及其 控制 方法
【權利要求書】:

1.一種真空鍍膜用實時膜厚修正板,它包括膜厚修正板支架,其特征在于:它還包括旋轉膜厚修正板、旋轉裝置和固定膜厚修正板,固定膜厚修正板設在膜厚修正板支架的一邊,在固定膜厚修正板上設有能使旋轉膜厚修正板旋轉的回轉導軌,旋轉膜厚修正板設在固定膜厚修正板的上面并使設置在旋轉膜厚修正板上的導柱位于回轉導軌中,旋轉裝置設在固定膜厚修正板上并位于旋轉膜厚修正板的一側。

2.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜用實時膜厚修正板,其特征在于:所述旋轉裝置由齒輪、齒條和動力機構組成,齒輪設在固定膜厚修正板上并與動力機構的輸出軸連接,齒條設在旋轉膜厚修正板的一側并與齒輪相嚙合。

3.一種權利要求1所述的真空鍍膜用實時膜厚修正板的控制方法,其特征在于:主監控點設在旋轉膜厚修正板的旋轉中心上,輔助監控點設在主監控點的一側或兩側;實時比較主監控點與輔助監控點的鍍膜速率,調節旋轉膜厚修正板的角度,使其遮擋鍍膜速率過快的部分,并同時減少鍍膜速率偏慢的部分,在保證主監控點鍍膜速率穩定的條件下實現快速實時膜厚分布的修正。

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