[發明專利]一種探針卡清針裝置有效
| 申請號: | 201410491591.7 | 申請日: | 2014-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN104384123A | 公開(公告)日: | 2015-03-04 |
| 發明(設計)人: | 許一峰;莫保章 | 申請(專利權)人: | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/02 | 分類號: | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司: | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吳世華;林彥之 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 探針 卡清針 裝置 | ||
1.一種探針卡清針裝置,其特征在于,包括:
清洗機構,所述清洗機構包括噴管、滑塊、中空夾板和支架,所述滑塊置于所述中空夾板內,所述中空夾板設有垂直通孔,所述噴管穿過所述中空夾板的所述通孔,并穿接所述滑塊,所述中空夾板通過所述支架固定安裝;所述噴管活動設置,其橫向移動區間受所述通孔的口徑限制,縱向移動區間受所述滑塊在所述中空夾板內的縱向移動高度限制;
清洗液循環機構,所述循環機構至少包括收集槽、泵、連接管和軟管,所述泵的一端通過所述軟管與所述噴管相連,另一端通過所述連接管與所述收集槽相連;所述噴管可朝向所述收集槽噴射清洗液,對所述收集槽上放置的所述探針卡的針卡進行移動清洗的清針處理;所述泵可將所述收集槽收集的清洗液泵向所述噴管,并形成循環。
2.如權利要求1所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述噴管在所述中空夾板內的移動范圍不小于所述探針卡上所述探針的分布范圍。
3.如權利要求1所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述噴管的軸線與所述探針的軸線平行。
4.如權利要求1所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述中空夾板由上層和下層構成,所述上層的通孔與所述下層的通孔同軸,所述上層的通孔半徑與所述下層的通孔半徑一致;所述上層通孔的軸線與所述下層通孔的軸線平行于所述噴管的軸線。
5.如權利要求4所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述噴管的長度大于所述中空夾板的所述上層與所述下層的開檔距離。
6.如權利要求1所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述收集槽固定連接在所述支架的腰部位置,所述收集槽具有承載所述探針卡的承載面;所述滑塊在所述中空夾板內的滑動面平行于所述收集槽承載所述探針卡的承載面。
7.如權利要求6所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述噴管的軸線與所述滑塊在所述中空夾板內的滑動面垂直。
8.如權利要求1所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述收集槽具有凸臺,所述凸臺位于所述收集槽承載面上靠近所述支架的一側。
9.如權利要求1所述的探針卡清針裝置,其特征在于,所述循環機構還包括箱體、過濾器、節流閥和減壓閥,所述收集槽依次與所述連接管、所述箱體、所述過濾器、所述泵、所述節流閥、所述減壓閥和所述軟管連接。
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