1.一種投影物鏡波像差在線檢測裝置，其特征在于，包括：沿光源(1)輸出光束方向依次放置的旋轉散射器(2)、第一聚焦透鏡(3)、光纖陣列(4)、第二聚焦透鏡(5)、散射光學元件(6)、物面光柵板(7)、像面光柵板(10)、二維光電傳感器(13)；

所述的物面光柵板(7)置于物面光柵位移臺(8)上，所述的像面光柵板(10)置于像面光柵位移臺(11)上，該像面光柵位移臺(11)與相移控制模塊(12)相連，所述的二維光電傳感器(13)與計算機相連(14)；

所述的物面光柵板(7)位于被測光學系統(tǒng)(9)的物平面，所述的像面光柵板(10)位于被測光學系統(tǒng)(9)的像平面；

所述的物面光柵板(7)由兩個周期為P_o且占空比為50％的物面光柵，以及物面光柵對準標記(703)組成，該兩個物面光柵分別是光柵線沿y方向的第一光柵(701)和光柵線沿x方向的第二光柵(702)；

所述的像面光柵板由像面光柵和像面光柵對準標記組成；

所述的物面光柵的周期P_o與所述的像面光柵的周期P_i滿足如下關系，

P_o＝P_i·M

其中，M為被測光學系統(tǒng)(9)的成像放大倍數(shù)。

2.根據(jù)權利要求1所述的投影物鏡波像差在線檢測裝置，其特征在于，所述的旋轉散射器(2)由支架(203)、電動機(202)和圓形漫散射光學元件(201)組成，用于將相干光或部分相干光轉化為非相干光；所述的圓形漫散射光學元件(201)安裝在電動機(202)上，在電動機(202)的驅動下沿中心軸轉動。

3.一種投影物鏡波像差在線檢測方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

①調整旋轉散射器(2)的高度，使光源(1)發(fā)出的光束從圓形漫散射光學元件(201)的上半部分透過；

調節(jié)第一聚焦透鏡(3)和光纖陣列(4)輸入端，使旋轉散射器(2)的透射光耦合到光纖陣列(4)中；

②物面光柵板(7)置于物面光柵位移臺(8)上，調整到物面光柵位移臺(8)使物面光柵板(7)位于被測光學系統(tǒng)(9)的物面上，且物面光柵板(7)上的第一光柵(701)移入被測光學系統(tǒng)(9)的物方視場點位置；

③將散射光學元件(6)置于靠近物面光柵板(7)位置，調整第二聚焦透鏡(5)和光纖陣列(4)輸出端使物面光柵板(7)被均勻照明；

④像面光柵板(10)置于像面光柵位移臺(11)上，移動像面光柵位移臺(11)使像面光柵板(10)位于被測光學系統(tǒng)(9)的像面上，且像面光柵(1001)移入被測光學系統(tǒng)(9)的像方光路；

將二維光電傳感器(13)置于像面光柵板(10)后，用來探測像面光柵(1001)所形成的干涉條紋；

⑤調整物面光柵位移臺(8)，根據(jù)物面光柵板(7)上的物面光柵對準標記(703)與像面光柵板(10)上的像面光柵對準標記(1002)形成的差動對準光柵在二維光電傳感器(13)上所成的莫爾條紋進行對準，當兩組條紋完全重合時，說明完成對第一光柵(701)與像面光柵(1001)的對準和平行調節(jié)，進入步驟⑥；

⑥將像面光柵位移臺(11)沿x方向移動像面光柵(1001)，移動12次，每次移動1/12光柵周期，每次移動后二維光電傳感器(13)采集一幅剪切干涉圖I_xk，其中k＝1,2,3…，12；

選擇其中I_x1、I_x2、I_x3、I_x4、I_x5、I_x6、I_x7、I_x10、I_x11、I_x12的10幅干涉條紋圖，按下列公式計算相位：

其中，為被測波前沿x方向的相位，代表被測波前在x方向上的梯度信息；

⑦移動物面光柵位移臺(8)，將物面光柵板(7)上的第二光柵(702)移入被測光學系統(tǒng)(9)的物方視場點位置；調整物面光柵位移臺(8)，根據(jù)物面光柵板(7)上的物面光柵對準標記(703)與像面光柵板(10)上的像面光柵對準標記(1002)形成的差動對準光柵在二維光電傳感器(13)上所成的莫爾條紋進行對準，當兩組條紋完全重合時，說明完成對第二光柵(702)與像面光柵(1001)的對準和平行調節(jié)，進入步驟⑧；

⑧將像面光柵位移臺(11)沿y方向移動像面光柵(1001)，移動12次，每次移動1/12光柵周期，每次移動后二維光電傳感器(13)采集一幅剪切干涉圖I_yk，其中k＝1,2,3…,12；

選擇其中I_x1、I_x2、I_x3、I_x4、I_x5、I_x6、I_x7、I_x10、I_x11、I_x12的10幅干涉條紋圖，按下列公式計算相位：

其中，為被測波前沿y方向的相位，代表被測波前在y方向上的梯度信息；

⑨對步驟⑥和步驟⑧得到的相位提取結果解包裹，將分別得到x方向和y方向的差分波前ΔW_x和ΔW_y進行剪切干涉波前重建，獲得被測光學系統(tǒng)(9)波前。