[發(fā)明專利]一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液及其制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410408330.4 | 申請日： | 2014-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN104178172A | 公開（公告）日： | 2014-12-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡建九;吳洪清;林志偉;陳凱軒;張永;王向武 | 申請（專利權(quán)）人： | 廈門乾照光電股份有限公司 |
| 主分類號： | C09K13/00 | 分類號： | C09K13/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 廈門市精誠新創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35218 | 代理人： | 李振瑞 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市火炬*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 砷化鎵 太陽電池 進行 選擇性 腐蝕 及其 制備 方法 | ||
1.一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液，由以下A、B、C、D、E五種組分組成：
A組分為固體檸檬酸；
????B組分為雙氧水；
??C組分為胺類化合物；
D組分為氨基酸類化合物；
E組分為去離子水；?
上述組分的加入量按質(zhì)量計算為：A組分為5～150份，B組分為10～100份，C組分為1～20份，D組分為1～20份，E組分為100份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液，其特征在于：所述C組分選自氨、甲胺、乙胺、乙二胺、1,2一丙二胺、1,3一丙二胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺、三胺基三乙胺、苯胺或苯二胺中的一種或多種混合而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液，其特征在于：所述D組分選自甘氨酸、朧氨酸、鄰氨基苯甲酸、天冬氨酸、谷氨酸、氨磺酸、亞氨二磺酸、氨二乙酸、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、二乙三氨五乙酸、羥基乙二胺三乙酸或芳香環(huán)氨基酸中的一種或多種混合而成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液，其特征在于：所述A組分純度為優(yōu)級純，純度大于99.8%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液，其特征在于：所述B組分的質(zhì)量濃度為30?%。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的一種對砷化鎵太陽電池帽層進行選擇性腐蝕的腐蝕液，其特征在于：所述A、B、C、D、E五種組分混合充分溶解后，加入氫氧化鈉或氫氧化鉀調(diào)節(jié)整個混合液的pH值為8-10。
7.一種上述權(quán)利要求1至6任一項所述腐蝕液的制備方法，包括以下步驟：
1、將固體檸檬酸倒入石英缸中；
2、往石英缸中加入去離子水；
3、同時往石英缸中加入胺類化合物及氨基酸類化合物，用玻璃棒攪拌同時給石英缸加熱；
4、待充分溶解后，加入雙氧水；
5、攪拌充分混合后，用氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液調(diào)節(jié)混合液的pH值至8-10。
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