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[發明專利]一種基于TeO2納米線的醇類氣體傳感器及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201410282701.9 申請日: 2014-06-24
公開(公告)號: CN104034757A 公開(公告)日: 2014-09-10
發明(設計)人: 沈巖柏;魏德洲;馬嘉偉;張琳博;王瑋;張津;劉崢 申請(專利權)人: 東北大學
主分類號: G01N27/04 分類號: G01N27/04;B82Y15/00
代理公司: 沈陽東大知識產權代理有限公司 21109 代理人: 梁焱
地址: 110819 遼寧*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 teo sub 納米 氣體 傳感器 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種基于TeO2納米線的醇類氣體傳感器,由陶瓷基板、加熱電阻、叉指金電極和氣敏涂層組成,其中加熱電阻覆在陶瓷基板背面,叉指金電極覆在陶瓷基板表面,氣敏涂層涂覆在叉指金電極表面,其特征在于氣敏涂層成分為TeO2納米線,所述的TeO2納米線具有單一的四方相晶體結構,表面光滑,直徑為70~200nm,長度為500μm~2mm,長徑比最大達29000。

2.一種基于TeO2納米線的醇類氣體傳感器的制備方法,其特征在于按照以下步驟進行:

(1)將石英管放置在開啟式管式電爐中,將質量純度為99.999%的金屬碲粉放置在Al2O3瓷舟中央,將鍍金玻璃基板放置在金屬碲粉上方1~5mm處用以收集產物,隨后將Al2O3瓷舟送入管式電爐內的石英管中央加熱區;

(2)用法蘭固定好石英管,調節空氣流速為0~300ml/min,升溫管式電爐至400~500℃并保持1~4h,關閉管式電爐,待管式電爐自然冷卻至室溫,從石英管中取出Al2O3瓷舟,鍍金玻璃基板上的乳白色沉積物即為制備的TeO2納米線;

(3)將制備得到的TeO2納米線與黏合劑松油醇按質量比(90~99):(10~1)混合,在瑪瑙研缽中濕法研磨10~30min,調制成料漿;

(4)將上述料漿涂于陶瓷基板表面上,成為氣敏涂層;

(5)將涂有氣敏涂層的陶瓷基板放置在空氣中干燥30~60min后,在老化臺上于200~300℃熱處理2~24h,最終獲得由TeO2納米線組成的醇類氣體傳感器。

3.根據權利要求2所述的一種基于TeO2納米線的醇類氣體傳感器的制備方法,其特征在于所述的鍍金玻璃基板上金膜層厚度為5~10nm,由離子濺射法沉積而成。

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