[發明專利]微波與等離子體相互作用裝置有效
| 申請號： | 201410219189.3 | 申請日： | 2014-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN103983861B | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 江岳孌;江濱浩;李傳雨 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01R29/00 | 分類號： | G01R29/00 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所23109 | 代理人： | 張宏威 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微波 等離子體 相互作用 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.微波與等離子體相互作用裝置，其特征在于，它包括主波導管(7)、彎波導管和副波導管；主波導管(7)、彎波導管和副波導管依次連接在一起組成連通的腔體，彎波導管的管路同時垂直主波導管(7)和副波導管；垂直主波導管(7)和副波導管相互平行；
在腔體的兩端分別設置有微波源(1)和等離子發射器(9)，其中，微波源(1)位于副波導管的末端，等離子發射器(9)位于主波導管(7)的末端，在微波源(1)至彎波導管之間的副波導管上依次設置有鐵氧體絕緣衰減器(2)、定向耦合器(3)、功率匹配器(4)和微波窗(5)；
主波導管(7)的末端管路上設置有多個吸波負載(8)，主波導管(7)的管路與泵源10連通；
在主波導管(7)的首端設置H11波激勵器(6)。
2.根據權利要求1所述微波與等離子體相互作用裝置，其特征在于，主波導管(7)上設置有若干個微波探針(7-1)和若干個等離子體探針(7-2)。
3.根據權利要求1所述微波與等離子體相互作用裝置，其特征在于，主波導管(7)的直徑為14mm。
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