[發明專利]像素結構與其制造方法無效
| 申請號: | 201410202925.4 | 申請日: | 2014-05-14 |
| 公開(公告)號: | CN103972245A | 公開(公告)日: | 2014-08-06 |
| 發明(設計)人: | 徐文義;陳茂松;黃國有 | 申請(專利權)人: | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;H01L29/786;H01L21/77 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 郭蔚 |
| 地址: | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 像素 結構 與其 制造 方法 | ||
1.一種像素結構,置于一基板上,該像素結構包含:
一柵極,置于該基板上;
一柵極介電層,覆蓋該柵極與該基板;
一硅通道層,置于該柵極介電層上,且置于該柵極上方;
一源極硅歐姆接觸層與一漏極硅歐姆接觸層,分開設置于該硅通道層上;
一源極輔助歐姆接觸層與一漏極輔助歐姆接觸層,分別置于該源極硅歐姆接觸層與該漏極硅歐姆接觸層上;
一透明導電部,置于該源極輔助歐姆接觸層上;
一透明像素電極,至少部分該透明像素電極置于該漏極輔助歐姆接觸層上;
一源極,置于該透明導電部上;以及
一漏極,置于該透明像素電極上,并置于該漏極輔助歐姆接觸層上方。
2.如權利要求1所述的像素結構,其特征在于,該源極輔助歐姆接觸層與該漏極輔助歐姆接觸層的材質為金屬。
3.如權利要求1所述的像素結構,其特征在于,該硅通道層的材質為非晶硅、微晶硅、多晶硅或磊晶硅。
4.如權利要求1所述的像素結構,其特征在于,該源極硅歐姆接觸層與該漏極硅歐姆接觸層的材質為N型摻雜硅。
5.如權利要求1所述的像素結構,其特征在于,更包含:
一柵極線,置于該基板與該柵極介電層之間,并電性連接該柵極;以及
一數據線,置于該柵極介電層上并電性連接該源極。
6.如權利要求1所述的像素結構,其特征在于,更包含:
一保護層,至少覆蓋該源極、該漏極、該硅通道層與該透明像素電極;以及
一共通電極,置于該保護層上,該共通電極與該透明像素電極重疊,且該共通電極具有多個開口。
7.如權利要求1所述的像素結構,其特征在于,更包含:
一共通電極,置于該基板與該柵極介電層之間,并置于該透明像素電極的下方,且該共通電極與該透明像素電極重疊。
8.如權利要求7所述的像素結構,其特征在于,該透明像素電極具有多個開口。
9.一種像素結構,置于一基板上,該像素結構包含:
一柵極,置于該基板上;
一柵極介電層,覆蓋該柵極與該基板;
一硅通道層,置于該柵極介電層上,且置于該柵極上方;
一源極硅歐姆接觸層與一漏極硅歐姆接觸層,分開設置于該硅通道層上;
一源極輔助歐姆接觸層與一漏極輔助歐姆接觸層,分別置于該源極硅歐姆接觸層與該漏極硅歐姆接觸層上;
一透明導電部,置于該源極輔助歐姆接觸層上;
一透明像素電極,至少部分該透明像素電極置于該漏極輔助歐姆接觸層上;
一源極,置于該透明導電部上;
一漏極,置于該透明像素電極上,并置于該漏極輔助歐姆接觸層上方;以及
一共通電極,置于該基板上,且該共通電極與該透明像素電極重疊。
10.一種像素結構的制造方法,包含:
于一基板上形成一柵極;
依序形成一柵極介電層、一硅半導體層、一硅歐姆接觸層與一輔助歐姆接觸層覆蓋該柵極與該基板;
依序去除部分的該輔助歐姆接觸層、該硅歐姆接觸層與該硅半導體層,以在該柵極上方形成一圖案化輔助歐姆接觸層、一圖案化硅歐姆接觸層與一硅通道層;
依序形成一透明導電材料層與一金屬層覆蓋該柵極介電層與該圖案化輔助歐姆接觸層;
去除部分的該金屬層,以分別于該圖案化輔助歐姆接觸層上方形成互相分離之一源極與一漏極,并去除部分的該透明導電材料層,以形成互相分離之一透明像素電極與一透明導電部,至少部分的該透明像素電極形成于該漏極與該圖案化輔助歐姆接觸層之間,且該透明導電部形成于該源極與該圖案化輔助歐姆接觸層之間;
去除部分的該圖案化輔助歐姆接觸層,以分別形成一源極輔助歐姆接觸層與一漏極輔助歐姆接觸層于該源極與該漏極下方;以及
去除部分的該圖案化硅歐姆接觸層,以分別形成一源極硅歐姆接觸層與一漏極硅歐姆接觸層于該源極輔助歐姆接觸層與該漏極輔助歐姆接觸層下方。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





