[發(fā)明專利]用于浸沒式光刻機的氣密封和微孔密封裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410172815.8 | 申請日： | 2014-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN103969964A | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 傅新;徐寧;陳文昱 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 浸沒 光刻 密封 微孔 裝置 | ||
1.一種用于浸沒式光刻機的氣密封和微孔密封裝置，在浸沒式光刻機中的投影透鏡組(1)和硅片(3)之間設(shè)置有氣密封和微孔密封裝置(2)；其特征在于：所述氣密封和微孔密封裝置(2)包括浸沒單元基體(2A)、浸沒單元上端蓋(2B)、浸沒單元下端蓋(2C)和浸沒單元氣密封端蓋(2D)；所述的浸沒單元基體(2A)上面與浸沒單元上端蓋(2B)接觸，浸沒單元基體(2A)下面依次與浸沒單元下端蓋(2C)和浸沒單元氣密封端蓋(2D)接觸，并通過螺釘緊固連接；其中：
1) 浸沒單元基體(2A)：
在浸沒單元基體(2A)上開有中心倒錐孔，中心錐孔大端向外為相對分布的第一注液腔(4B)和第一液體回收腔(5B)，第一注液腔(4B)與折線形的第一注液通道(4A)相連，第一液體回收腔(5B)與折線形的第一液體回收通道(5A)相連；中心錐孔大端向外為相對分布的右側(cè)第二注液腔(6B1)和左側(cè)第二注液腔(6B2)，右側(cè)第二注液腔(6B1)向外與折線形的右側(cè)第二注液通道(6A1)相連，右側(cè)第二注液腔(6B1)向下與方形注液腔(6C)相連通，左側(cè)第二注液腔(6B2)向外與折線形的左側(cè)第二注液通道(6A2)相連，左側(cè)第二注液腔(6B2)向下與方形注液腔(6C)相連通；在右側(cè)第二注液腔(6B1)和第一注液腔(4B)之間開有右側(cè)第二液體回收腔(7B1)，右側(cè)第二液體回收腔(7B1)向外與折線形的右側(cè)第二液體回收通道(7A1)相連，右側(cè)第二液體回收腔(7B1)向下與右側(cè)第二液體回收槽(7C1)相連通，右側(cè)第二液體回收槽(7C1)向內(nèi)與方形液體回收腔(7D)相連，在左側(cè)第二注液腔(6B2)和第一注液腔(5B)之間開有左側(cè)第二液體回收腔(7B2)，左側(cè)第二液體回收腔(7B2)向外與折線形的左側(cè)第二液體回收通道(7A2)相連，左側(cè)第二液體回收腔(7B2)向下與第二液體回收槽(7C2)相連通，左側(cè)第二液體回收槽(7C2)向內(nèi)與方形液體回收腔(7D)相連，右側(cè)第二注液腔(6B1)向外為注氣腔(8B1)，右側(cè)注氣腔(8B1)與右側(cè)注氣通道(8A1)相連，左側(cè)第二注液腔(6B2)向外為左側(cè)注氣腔(8B2)，左側(cè)注氣腔(8B2)與左側(cè)注氣通道(8A2)相連，在右側(cè)注氣腔(8B1)與第一液體回收腔(5B)之間開有右側(cè)氣體回收腔(9B1)，右側(cè)氣體回收腔(9B1)與折線形的右側(cè)氣體回收通道(9A1)相連，在左側(cè)注氣腔(8B2)與第一液體回收腔(4B)之間開有左側(cè)氣體回收腔(9B2)，左側(cè)氣體回收腔(9B2)與折線形的左側(cè)氣體回收通道(9A2)相連；第一注液通道(4A)、右側(cè)第二液體回收通道(7A1)、右側(cè)注氣通道(8A1)、右側(cè)第二注液通道(6A1)和右側(cè)氣體回收通道(9A1)向浸沒單元基體(2A)一側(cè)聚集，并通過螺紋孔與外部管路相連，第一液體回收通道(5A)、左側(cè)第二液體回收通道(7A2)、左側(cè)注氣通道(8A2)、左側(cè)第二注液通道(6A2)和左側(cè)氣體回收通道(9A2)向浸沒單元基體(2A)的另一側(cè)聚集，通過螺紋孔與外部管路相連；
2) 浸沒單元上端蓋(2B)：
在浸沒單元上端蓋(2B)上開有中心通孔；
3) 浸沒單元下端蓋(2C)：
在浸沒單元下端蓋(2C)上開有中心方形通孔，中心方形通孔向外是微孔組成的方形注液孔陣列(6D)，注液孔陣列(6D)向下是下端蓋注液腔(6E)，注液孔陣列(6D)向外是方形微孔組成的方形回收孔陣列(7E)；
4) 浸沒單元氣密封端蓋(2D)：
在浸沒單元氣密封端蓋(2D)上開有中心通孔，中心通孔向外是右側(cè)氣體回收腔(9C1)和左側(cè)氣體回收腔(9C2)，右側(cè)氣體回收腔(9C1)和左側(cè)氣體回收腔(9C2)與中心通孔相連通，浸沒單元氣密封端蓋(2D)最外側(cè)是注氣緩沖腔(8D)，右側(cè)氣體回收腔(9C1)和左側(cè)氣體回收腔(9C2)周向之間開有右側(cè)氣密封端蓋注氣腔(8C1)和左側(cè)氣密封端蓋注氣腔(8C2)，右側(cè)氣密封端蓋注氣腔(8C1)和左側(cè)氣密封端蓋注氣腔(8C2)向外與注氣緩沖腔(8D)相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于浸沒式光刻機的氣密封和微孔裝置，其特征在于：所述的方形注液腔(6C)向下與注液孔陣列(6D)相連通，方形液體回收腔(7D)向下與回收孔陣列(7E)相連通，右側(cè)注氣腔(8B1)向下右側(cè)氣密封端蓋注氣腔(8C1)相連通，左側(cè)注氣腔(8B2)向下與密封端蓋注氣腔(8C2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于浸沒式光刻機的氣密封和微孔密封裝置，其特征在于：所述的注液孔陣列(6D)由圓形孔組成的方形排孔陣列，回收孔陣列(7E)由方形孔組成的方形排孔陣列。
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