[發明專利]扇出型晶圓級封裝結構及制造工藝有效
| 申請號: | 201410131607.3 | 申請日: | 2014-04-02 |
| 公開(公告)號: | CN103887251A | 公開(公告)日: | 2014-06-25 |
| 發明(設計)人: | 王宏杰;陳南南 | 申請(專利權)人: | 華進半導體封裝先導技術研發中心有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/31 | 分類號: | H01L23/31;H01L21/98 |
| 代理公司: | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;劉海 |
| 地址: | 214135 江蘇省無錫市新區太湖國*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 扇出型晶圓級 封裝 結構 制造 工藝 | ||
1.一種扇出型晶圓級封裝結構,包括帶有第一金屬電極(102a)和第二金屬電極(102b)的芯片(100)和金屬層(203),芯片(100)和金屬層(203)通過塑封材料(501)塑封成一個整體;其特征是:所述芯片(100)的正面(100a)與塑封材料(501)的正面(501a)位于同一平面,芯片(100)的背面(100b)和金屬層(203)的一表面(203a)與塑封材料(501)的背面(501b)位于同一平面,并且金屬層(203)的高度小于芯片(100)的高度;在所述塑封材料(501)的正面(501a)設置介電層(901),介電層(901)中布置再布線金屬走線層(1101)和凸點下金屬層(1201),在凸點下金屬層(1201)上置焊球(1301),再布線金屬走線層(1101)連接第一金屬電極(102a)、第二金屬電極(102b)以及凸點下金屬層(1201)。
2.如權利要求1所述的扇出型晶圓級封裝結構,其特征是:所述凸點下金屬層(1201)的頂面與介電層(901)的頂面平齊,或者突出于介電層(901)的表面。
3.一種扇出型晶圓級封裝結構的制造工藝,其特征是,采用以下工藝步驟:
(1)準備載體圓片(201),在載體圓片(201)上表面涂覆第一粘膠層(202),并制作金屬層(203),在金屬層(203)上制作通孔,裸露出載體圓片(201)的上表面;在金屬層(203)的通孔底部涂覆第二粘膠層(202a),將芯片(100)的正面(100a)朝上粘貼于載體圓片(201)上;所述金屬層(203)的高度比芯片(100)的高度低;
(2)將金屬層(203)、芯片(100)塑封于塑封材料(501)中,并且保證芯片(100)的正面(100a)與塑封材料(501)的正面(501a)位于同一平面,芯片(100)的背面(100b)和金屬層(203)的一表面(203a)與塑封材料(501)的背面(501b)位于同一平面;
(3)在塑封材料(501)的正面(501a)涂覆介電層(901),在介電層(901)上制作再布線金屬走線層(1101),再布線金屬走線層(1101)連接第一金屬電極(102a)和第二金屬電極(102b);
(4)去除載體圓片(201)和粘膠層,裸露出芯片(100)的背面(100b);在再布線金屬走線層(1101)的上表面涂覆介電層,并在介電層中制作凸點下金屬層(1201),凸點下金屬層(1201)嵌入介電層(901)中,與再布線金屬走線層(1101)連接;?
(5)在凸點下金屬層(1201)上植球回流,形成焊球(1301)凸點陣列;
(6)對上述重構的圓片進行減薄、切割,形成單顆的扇出型芯片封裝結構。
4.如權利要求3所述的扇出型晶圓級封裝結構的制造工藝,其特征是:所述芯片(100)由具有多個芯片(100)的IC圓片(101)減薄并切割而成。
5.如權利要求3所述的扇出型晶圓級封裝結構的制造工藝,其特征是:所述金屬層(203)采用濺射、沉積或電鍍的方法制作得到,或者采用直接粘貼金屬箔/片或金屬網板的方式制成。
6.如權利要求3所述的扇出型晶圓級封裝結構的制造工藝,其特征是:所述步驟(1)的操作采用以下操作代替:在載體圓片(201)上表面涂覆第一粘膠層(202),粘貼預加工具有通孔的金屬層(203),再將芯片(100)的正面(100a)朝上粘貼于載體圓片(201)上。
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