[發(fā)明專利]一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410049513.1 | 申請(qǐng)日: | 2014-02-13 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103811991B | 公開(公告)日: | 2017-05-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 廉鵬 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 馬鞍山思派科創(chuàng)科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01S5/042 | 分類號(hào): | H01S5/042 |
| 代理公司: | 南京知識(shí)律師事務(wù)所32207 | 代理人: | 蔣海軍 |
| 地址: | 安徽省馬鞍山市馬鞍山承*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 提高 半導(dǎo)體激光器 芯片 散熱 效率 方法 | ||
1.一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法,其特征在于,包括如下步驟:
a)生長(zhǎng)襯底依次外延生長(zhǎng)預(yù)置轉(zhuǎn)換層、N區(qū)外延層、有源區(qū)和P區(qū)外延層;
b)經(jīng)過光刻、刻蝕、蒸鍍TiPtAu和退火在所述P區(qū)外延層制作P面電極;所述退火在400℃~470℃溫度范圍內(nèi)執(zhí)行;所述退火的時(shí)間范圍為30s~60s;
c)將所述步驟b)所得浸入腐蝕液,利用所述腐蝕液腐蝕所述預(yù)置轉(zhuǎn)換層;
d)經(jīng)所述步驟c)所得的所述N區(qū)外延層經(jīng)過表面處理步驟之后,蒸鍍AuGeNi制作N面電極;
所述P面電極和所述N面電極分別形成P面散熱結(jié)構(gòu)和N面散熱結(jié)構(gòu);所述N面散熱結(jié)構(gòu)和所述P面散熱結(jié)構(gòu)具體為銅層,所述銅層通過電鍍方式形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法,其特征在于,所述P區(qū)外延層包括電流限制結(jié)構(gòu),所述電流限制結(jié)構(gòu)具體為脊形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法,其特征在于,所述預(yù)置轉(zhuǎn)換層能夠被腐蝕液選擇性消除;所述腐蝕液具體為HF或BOE。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)所述的一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法,其特征在于,所述生長(zhǎng)襯底包括GaAs。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法,其特征在于,所述預(yù)置轉(zhuǎn)換層包括AlAs。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種提高半導(dǎo)體激光器芯片散熱效率的方法,其特征在于,所述刻蝕具體為干法刻蝕或者濕法刻蝕,使用選擇性的和/或各向異性的刻蝕法來執(zhí)行;所述表面處理步驟至多包括拋光步驟、檢測(cè)步驟以及位于所述拋光步驟之前和/或之后的清洗步驟,所述拋光步驟具體為化學(xué)拋光或機(jī)械拋光;所述清洗步驟具體為所述腐蝕液清洗或者水清洗;所述檢測(cè)步驟具體為光滑度檢測(cè)和表面清潔度檢測(cè)。
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