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[發明專利]扇出型方片級封裝的制作工藝有效

專利信息
申請號: 201410045900.8 申請日: 2014-02-08
公開(公告)號: CN103762183B 公開(公告)日: 2017-04-12
發明(設計)人: 陳峰;耿菲 申請(專利權)人: 華進半導體封裝先導技術研發中心有限公司
主分類號: H01L21/56 分類號: H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙)32104 代理人: 殷紅梅
地址: 214000 江蘇省無錫市新區太湖國*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 扇出型方片級 封裝 制作 工藝
【權利要求書】:

1.一種扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于,包括下述步驟:

步驟一,提供承載片(101),在承載片(101)上貼覆粘結膠(102);

步驟二,將芯片(103)正貼到粘結膠(102)上;

步驟三,在承載片(101)上貼有芯片(103)的那一面上涂覆第二類絕緣樹脂(104),第二類絕緣樹脂(104)填充芯片(103)之間的溝槽,第二類絕緣樹脂(104)的高度不高于芯片(103)頂部的高度;

步驟四,在承載片(101)上貼有芯片(103)的那一面上涂覆第一類感光樹脂(107),第一類感光樹脂(107)將芯片(103)覆蓋住;

步驟五,在第一類感光樹脂(107)中形成通向芯片焊盤(106)的導通孔(108);

步驟六,在導通孔(108)中和第一類感光樹脂(107)上沉積一層種子層(109);在種子層(109)上涂覆光刻膠(110),然后使得光刻膠(110)上顯露出用于制作電鍍線路(111)的圖形,使用電鍍的方法,在顯露出的圖形區域中形成電連接芯片焊盤(106)的電鍍線路(111);

步驟七,去除光刻膠(110)和光刻膠底部的種子層(109),保留電鍍線路(111)底部的種子層(109);在承載片(101)上涂覆一層阻焊油墨(113),使得阻焊油墨(113)覆蓋電鍍線路(111);

然后在阻焊油墨(113)上顯露出電鍍線路(111)上的金屬焊盤(112)。

2.步驟八,在金屬焊盤(112)上形成焊球(114)。

3.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟一中,承載片(101)為矩形,材料為玻璃、金屬板或有機基板。

4.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟三中,第二類絕緣樹脂(104)為包含環氧樹脂、亞克力樹脂、酚醛樹脂或三嗪樹脂成分的增層材料、底填料或塑封材料。

5.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟三中,涂覆第二類絕緣樹脂(104)采用的工藝是絲網印刷、狹縫涂覆、噴墨打印、真空壓合、點膠或壓印。

6.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟三中,第二類絕緣樹脂(104)頂部低于芯片(103)頂部0~15微米。

7.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟四中,第一類感光樹脂(107)包括BCB、PBO、PSPI、聚酰亞胺、感光型環氧樹脂或干膜。

8.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟四中,涂覆第一類感光樹脂(107)采用的工藝包括旋涂、噴涂、滾涂、絲網印刷、狹縫涂覆、噴墨打印、滾壓或真空壓合。

9.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟六中,通過濺射金屬或化學沉銅工藝,在導通孔(108)中和第一類感光樹脂(107)上沉積種子層(109)。

10.如權利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作工藝,其特征在于:

所述步驟八中,通過植球、印刷、電鍍或化學鍍工藝形成焊球(114)。

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