[發(fā)明專利]晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)及其形成方法、以及封裝方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410041994.1 | 申請(qǐng)日: | 2014-01-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN103762221B | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-01-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉張波;王之奇;喻瓊;王蔚 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州晶方半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L27/146 | 分類號(hào): | H01L27/146 |
| 代理公司: | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 | 代理人: | 駱蘇華 |
| 地址: | 215021 江蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 晶圓級(jí) 封裝 結(jié)構(gòu) 及其 形成 方法 以及 | ||
1.一種晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
待封裝晶圓,所述待封裝晶圓包括若干芯片區(qū)域和位于芯片區(qū)域之間的切割道區(qū)域,且所述待封裝晶圓包括第一面和與所述第一面相對(duì)的第二面;
位于所述待封裝晶圓芯片區(qū)域第一面的焊墊和感光元件;
覆蓋于所述焊墊和切割道區(qū)域表面的第一圍堤結(jié)構(gòu),位于第一圍堤結(jié)構(gòu)上方的第二圍堤結(jié)構(gòu),第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于第一圍堤結(jié)構(gòu)的寬度,且第二圍堤結(jié)構(gòu)的位置對(duì)應(yīng)于切割道區(qū)域的位置;
與所述待封裝晶圓第一面相對(duì)設(shè)置的封裝蓋,且通過(guò)所述第一圍堤結(jié)構(gòu)和第二圍堤結(jié)構(gòu)將封裝蓋與待封裝晶圓固定接合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于切割道區(qū)域的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)位于第一圍堤結(jié)構(gòu)表面,且第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)為一體結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)的頂部高于感光元件的頂部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)頂部至感光元件頂部的距離為1μm至50μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)為一個(gè)或多個(gè)分立的結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)之間還形成有一個(gè)或多個(gè)第三圍堤結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)和第二圍堤結(jié)構(gòu)的材料相同,為光刻膠或樹(shù)脂;所述封裝蓋的材料為無(wú)機(jī)玻璃、有機(jī)玻璃或硅基底。
9.一種晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,包括:
提供待封裝晶圓,所述待封裝晶圓包括若干芯片區(qū)域和位于芯片區(qū)域之間的切割道區(qū)域,所述待封裝晶圓包括第一面和與所述第一面相對(duì)的第二面,且所述待封裝晶圓芯片區(qū)域的第一面具有焊墊和感光元件;
形成覆蓋于所述焊墊和切割道區(qū)域表面的初始圍堤結(jié)構(gòu);
對(duì)所述初始圍堤結(jié)構(gòu)進(jìn)行裁剪處理,形成第一圍堤結(jié)構(gòu)、以及位于第一圍堤結(jié)構(gòu)上方的第二圍堤結(jié)構(gòu),所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于第一圍堤結(jié)構(gòu)的寬度,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)覆蓋于焊墊和切割道區(qū)域表面,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的位置對(duì)應(yīng)于切割道區(qū)域?qū)?yīng)的位置;
形成與待封裝晶圓第一面相對(duì)封裝蓋,且通過(guò)所述第一圍堤結(jié)構(gòu)和第二圍堤結(jié)構(gòu)將封裝蓋與待封裝晶圓固定接合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述裁剪處理的工藝為鐳射工藝或曝光顯影工藝。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述初始圍堤結(jié)構(gòu)的材料為正光刻膠時(shí),所述裁剪處理的工藝為鐳射工藝或曝光顯影工藝;所述初始圍堤結(jié)構(gòu)的材料為負(fù)光刻膠或樹(shù)脂時(shí),所述裁剪處理的工藝為鐳射工藝。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,通過(guò)直接鍵合或利用粘合劑粘合的工藝將封裝蓋與待封裝晶圓固定接合。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)的頂部高于感光元件的頂部。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第一圍堤頂部至感光元件頂部的距離為1μm至50μm。
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)為一個(gè)或多個(gè)分立的結(jié)構(gòu),所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于切割道區(qū)域的寬度。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)位于第一圍堤結(jié)構(gòu)表面,且第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)為一體結(jié)構(gòu)。
17.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)之間形成有一個(gè)或多個(gè)第三圍堤結(jié)構(gòu)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無(wú)源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無(wú)源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過(guò)這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的
- 卡片結(jié)構(gòu)、插座結(jié)構(gòu)及其組合結(jié)構(gòu)
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