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[發(fā)明專利]晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)及其形成方法、以及封裝方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201410041994.1 申請(qǐng)日: 2014-01-28
公開(kāi)(公告)號(hào): CN103762221B 公開(kāi)(公告)日: 2017-01-11
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 劉張波;王之奇;喻瓊;王蔚 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 蘇州晶方半導(dǎo)體科技股份有限公司
主分類號(hào): H01L27/146 分類號(hào): H01L27/146
代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 代理人: 駱蘇華
地址: 215021 江蘇*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 晶圓級(jí) 封裝 結(jié)構(gòu) 及其 形成 方法 以及
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

待封裝晶圓,所述待封裝晶圓包括若干芯片區(qū)域和位于芯片區(qū)域之間的切割道區(qū)域,且所述待封裝晶圓包括第一面和與所述第一面相對(duì)的第二面;

位于所述待封裝晶圓芯片區(qū)域第一面的焊墊和感光元件;

覆蓋于所述焊墊和切割道區(qū)域表面的第一圍堤結(jié)構(gòu),位于第一圍堤結(jié)構(gòu)上方的第二圍堤結(jié)構(gòu),第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于第一圍堤結(jié)構(gòu)的寬度,且第二圍堤結(jié)構(gòu)的位置對(duì)應(yīng)于切割道區(qū)域的位置;

與所述待封裝晶圓第一面相對(duì)設(shè)置的封裝蓋,且通過(guò)所述第一圍堤結(jié)構(gòu)和第二圍堤結(jié)構(gòu)將封裝蓋與待封裝晶圓固定接合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于切割道區(qū)域的寬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)位于第一圍堤結(jié)構(gòu)表面,且第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)為一體結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)的頂部高于感光元件的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)頂部至感光元件頂部的距離為1μm至50μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)為一個(gè)或多個(gè)分立的結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)之間還形成有一個(gè)或多個(gè)第三圍堤結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)和第二圍堤結(jié)構(gòu)的材料相同,為光刻膠或樹(shù)脂;所述封裝蓋的材料為無(wú)機(jī)玻璃、有機(jī)玻璃或硅基底。

9.一種晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,包括:

提供待封裝晶圓,所述待封裝晶圓包括若干芯片區(qū)域和位于芯片區(qū)域之間的切割道區(qū)域,所述待封裝晶圓包括第一面和與所述第一面相對(duì)的第二面,且所述待封裝晶圓芯片區(qū)域的第一面具有焊墊和感光元件;

形成覆蓋于所述焊墊和切割道區(qū)域表面的初始圍堤結(jié)構(gòu);

對(duì)所述初始圍堤結(jié)構(gòu)進(jìn)行裁剪處理,形成第一圍堤結(jié)構(gòu)、以及位于第一圍堤結(jié)構(gòu)上方的第二圍堤結(jié)構(gòu),所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于第一圍堤結(jié)構(gòu)的寬度,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)覆蓋于焊墊和切割道區(qū)域表面,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的位置對(duì)應(yīng)于切割道區(qū)域?qū)?yīng)的位置;

形成與待封裝晶圓第一面相對(duì)封裝蓋,且通過(guò)所述第一圍堤結(jié)構(gòu)和第二圍堤結(jié)構(gòu)將封裝蓋與待封裝晶圓固定接合。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述裁剪處理的工藝為鐳射工藝或曝光顯影工藝。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述初始圍堤結(jié)構(gòu)的材料為正光刻膠時(shí),所述裁剪處理的工藝為鐳射工藝或曝光顯影工藝;所述初始圍堤結(jié)構(gòu)的材料為負(fù)光刻膠或樹(shù)脂時(shí),所述裁剪處理的工藝為鐳射工藝。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,通過(guò)直接鍵合或利用粘合劑粘合的工藝將封裝蓋與待封裝晶圓固定接合。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第一圍堤結(jié)構(gòu)的頂部高于感光元件的頂部。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第一圍堤頂部至感光元件頂部的距離為1μm至50μm。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)為一個(gè)或多個(gè)分立的結(jié)構(gòu),所述第二圍堤結(jié)構(gòu)的寬度小于切割道區(qū)域的寬度。

16.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,所述第二圍堤結(jié)構(gòu)位于第一圍堤結(jié)構(gòu)表面,且第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)為一體結(jié)構(gòu)。

17.根據(jù)權(quán)利要求9所述晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)的形成方法,其特征在于,第二圍堤結(jié)構(gòu)和第一圍堤結(jié)構(gòu)之間形成有一個(gè)或多個(gè)第三圍堤結(jié)構(gòu)。

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