1.一種光刻膠的制備裝置，其特征在于，包括：

金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備，用于產(chǎn)生金屬納米顆粒；

回收設(shè)備，用于收集所述金屬納米顆粒并將其分散在液體中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備包括金屬板和激光器，所述金屬板的上表面用于接收所述激光器發(fā)射的激光并產(chǎn)生金屬納米顆粒。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備還包括會(huì)聚透鏡，所述會(huì)聚透鏡用于會(huì)聚所述激光器發(fā)射的激光，且所述金屬板位于所述會(huì)聚透鏡的焦平面處。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述回收設(shè)備包括：

具有開(kāi)口的容器，所述容器用于盛裝包含有所述金屬納米顆粒的液體，所述金屬板位于所述容器的開(kāi)口的上方；以及

回流設(shè)備，用于將包含有所述金屬納米顆粒的液體輸送至所述金屬板的上表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述回流設(shè)備包括回流導(dǎo)管、出流導(dǎo)管和泵，所述出流導(dǎo)管的一端與所述容器中的包含有所述金屬納米顆粒的液體相接觸，所述回流導(dǎo)管的一端位于所述金屬板的上表面的上方，所述泵用于通過(guò)所述出流導(dǎo)管將所述容器中的包含有所述金屬納米顆粒的液體抽出并通過(guò)所述回流導(dǎo)管輸送至所述金屬板的上表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光刻膠的制備裝置，其特征在于，所述金屬板的材質(zhì)為純度不小于99.99%的銀或金。

7.一種基于權(quán)利要求1所述的光刻膠的制備裝置的制備方法，其特征在于，包括下列步驟：

（1）通過(guò)所述金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備產(chǎn)生金屬納米顆粒；

（2）通過(guò)所述回收設(shè)備將所述金屬納米顆粒分散在液體中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備包括金屬板和激光器，在所述步驟（1）中，所述激光器將發(fā)射的激光入射到所述金屬板的上表面并產(chǎn)生金屬納米顆粒。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備還包括會(huì)聚透鏡，所述金屬板位于所述會(huì)聚透鏡的焦平面處，在所述步驟（1）中，將所述激光經(jīng)過(guò)所述會(huì)聚透鏡聚焦后入射到所述金屬板的上表面。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的制備方法，其特征在于，所述回收設(shè)備包括：具有開(kāi)口的容器，所述容器用于盛裝包含有所述金屬納米顆粒的液體，所述金屬板位于所述容器的開(kāi)口的上方；以及回流設(shè)備，用于將包含有所述金屬納米顆粒的液體輸送至所述金屬板的上表面；

在所述步驟（2）中，還包括調(diào)節(jié)所述回流設(shè)備的輸出功率和/或所述金屬板與水平面的夾角，使得所述金屬板的上表面的液體的厚度恒定且使得所述厚度為1微米～5厘米。