技術領域

本發明涉及微波處理裝置，其利用周期結構體形成有用于傳送基于微波的表面波的表面波傳送線路。

背景技術

以往，這種微波處理裝置具有如下結構：其具備同軸線纜和周期結構體，所述同軸線纜供給微波能量，所述周期結構體從同軸線纜被供給微波能量，并且形成有交叉指型帶線路(例如，專利文獻1)。專利文獻1的微波處理裝置在交叉指型帶線路的終端設置有諧振孔。在這樣的結構中，一邊利用在交叉指型帶線路產生的微波而使被加熱物呈現烤焦色，一邊通過來自諧振孔的微波加熱而對被加熱物均勻地進行加熱。

此外，作為另一微波處理裝置具有如下結構：在由周期結構體形成的交叉指型帶線路上放射并傳送微波(例如，參照專利文獻2)。通過在交叉指型帶線路上放射并傳送微波，從而高效率地對有厚度的被加熱物進行微波加熱。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開昭61-237393號公報

專利文獻2：日本特公平4-61476號公報

發明內容

發明要解決的課題

但是，在上述以往這樣的結構中，在將微波電力從同軸線纜等傳遞部傳遞到形成交叉指型帶線路等表面波傳送線路的周期結構體時，要求更高效率地將微波電力傳遞到周期結構體。

本發明用于解決上述以往的課題，其目的在于提供一種微波處理裝置，能夠將微波電力高效率地傳遞到形成表面波傳送線路的周期結構體。

用于解決課題的手段

為了解決上述以往的課題，本發明的微波處理裝置具備：周期結構體，其形成有傳送基于微波的表面波的表面波傳送線路；振蕩部，其產生微波電力；和傳遞部，其將由振蕩部產生的微波電力傳遞至周期結構體，在周期結構體與傳遞部的連接部分設置有匹配部，匹配部的阻抗被設定在周期結構體的阻抗與傳遞部的阻抗之間。

發明效果

本發明的微波處理裝置能夠將微波電力高效率地傳遞到形成表面波傳送線路的周期結構體。

附圖說明

根據關于附圖的與優選實施方式關聯的如下說明可知本發明的這些方式和特征。

圖1是本發明的實施方式一的微波處理裝置的概略剖視圖。

圖2是實施方式一的微波處理裝置的周期結構體的仰視圖。

圖3是實施方式一的微波處理裝置的剖視圖。

圖4是實施方式一的變形例1的微波處理裝置的匹配電路的仰視圖。

圖5是實施方式一的變形例1的微波處理裝置的匹配電路的剖視圖。

圖6是實施方式一的變形例2的微波處理裝置的匹配電路的剖視圖。

圖7是本發明的實施方式二的微波處理裝置的剖視圖。

圖8是實施方式二的微波處理裝置的周期結構體的立體圖。

具體實施方式

第一方面的發明是一種微波處理裝置，所述微波處理裝置具備：周期結構體，其形成有傳送基于微波的表面波的表面波傳送線路；振蕩部，其產生微波電力；和傳遞部，其將由振蕩部產生的微波電力傳遞至周期結構體，在周期結構體與傳遞部的連接部分設置有匹配部，匹配部的阻抗被設定在周期結構體的阻抗與傳遞部的阻抗之間。由此，通過利用匹配部取得傳遞部與周期結構體的阻抗的匹配，能夠減少在傳遞部與周期結構體的連接部分產生的微波的反射，因此能夠將微波電力從傳遞部高效率地傳遞到周期結構體。

第二方面的發明如下：特別是，第一方面的發明的匹配部形成以周期結構體的至少一部分作為接地面的微帶線路。由此，能夠將匹配部構成得更簡單且小型。

第三方面的發明如下：特別是，第一方面的發明的匹配部具有阻抗的變化部分，變化部分被配置成：在該變化部分產生的微波的反射波將在周期結構體與匹配部的連接部分產生的微波的反射波至少部分地抵銷。由此，通過將在傳遞部與周期結構體的連接部分產生的微波的反射抵銷，能夠將微波從傳遞部高效率地傳遞到周期結構體。

第四方面的發明如下：特別是，第三方面的發明的匹配部的阻抗的變化部分以使匹配部的形狀變化的方式形成。由此，能夠將微波從傳遞部高效率地傳遞到周期結構體。

第五方面的發明如下：特別是，第三方面的發明的匹配部以周期結構體的至少一部分作為接地面而形成具有電介質的微帶線路，匹配部的阻抗的變化部分通過在微帶線路的電介質存在介電常數的變化部分而形成。由此，能夠將微波從傳遞部高效率地傳遞到周期結構體。