[發明專利]熱式空氣流量傳感器有效
| 申請號： | 201380040625.4 | 申請日： | 2013-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN104508434B | 公開（公告）日： | 2017-08-01 |
| 發明（設計）人： | 石塚典男;小野瀬保夫;佐久間憲之;中野洋 | 申請（專利權）人： | 日立汽車系統株式會社 |
| 主分類號： | G01F1/692 | 分類號： | G01F1/692;G01F1/68 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 空氣 流量傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有測定元件的熱式空氣流量傳感器，其特征在于：
所述測定元件具有：
半導體襯底；
電絕緣膜，其設置在所述半導體襯底上；
導電薄膜，其包括在所述電絕緣膜上沉積導電性薄膜而形成的發熱電阻體、測溫電阻體和不與其它部分電連接的偽薄膜；和
隔膜部，其是將半導體襯底的一部分除去而形成的，
并且在所述隔膜部上形成有所述發熱電阻體和所述測溫電阻體，
改變所述偽薄膜的寬度，使所述導電薄膜相對于所述測定元件的面積的占有面積的比率為40～60％。
2.如權利要求1所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于：
所述偽薄膜由與所述測溫電阻體相同材料形成。
3.如權利要求2所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于：
所述偽薄膜的排列圖案由交錯狀地配置的多個圖案形成。
4.如權利要求3所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于：
所述排列圖案由將長方形形狀的圖案交錯地配置的圖案形成。
5.如權利要求3所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于：
所述排列圖案由將四邊形或者圓形的圖案交錯地配置的圖案形成。
6.如權利要求1所述的熱式空氣流量傳感器，其特征在于：
所述偽薄膜配置在所述隔膜部外的所述半導體襯底上。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于日立汽車系統株式會社，未經日立汽車系統株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.17sss.com.cn/pat/books/201380040625.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：高效率多通道光譜儀
- 下一篇：路徑引導裝置、路徑引導方法以及路徑引導程序
