1.一種異常檢測(cè)方法，是在等離子體處理裝置中檢測(cè)微波導(dǎo)入組件的異常方法，其特征在于：

所述等離子體處理裝置包括：

收納被處理體的處理容器；

微波導(dǎo)入裝置，其具有在所述處理容器內(nèi)將用于生成等離子體的微波導(dǎo)入所述處理容器內(nèi)的多個(gè)微波導(dǎo)入組件；和

對(duì)所述處理容器內(nèi)進(jìn)行減壓排氣的排氣裝置，其中

所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件分別將所述微波導(dǎo)入所述處理容器內(nèi)的不同位置，

使所述處理容器內(nèi)成為真空狀態(tài)且沒(méi)有生成所述等離子體的狀態(tài)，對(duì)各個(gè)所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件導(dǎo)入所述微波，

在對(duì)各個(gè)所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件導(dǎo)入所述微波時(shí)，通過(guò)所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的一個(gè)微波導(dǎo)入組件導(dǎo)入微波至所述處理容器內(nèi)，停止從其他微波導(dǎo)入組件導(dǎo)入微波的情況下，分別測(cè)定從所述一個(gè)微波導(dǎo)入組件導(dǎo)入的微波的電功率值和所有所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件反射的反射微波的電功率值，基于測(cè)定的微波的電功率值和反射微波的電功率值，求取選自所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件構(gòu)成的組合各自的S參數(shù)，

求得多個(gè)所述S參數(shù)的絕對(duì)值之間的差，基于該差檢測(cè)所述異常。

2.如權(quán)利要求1所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件分別具有測(cè)定所述微波和所述反射微波的電功率值的電力測(cè)定器。

3.如權(quán)利要求2所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

所述微波包括在每個(gè)所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中電功率值不同的多個(gè)入射波，

所述反射微波包括分別與所述多個(gè)入射波對(duì)應(yīng)的多個(gè)反射波。

4.如權(quán)利要求3所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

選自所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件構(gòu)成的組合各自的S參數(shù)，能夠通過(guò)最小二乘法根據(jù)所述多個(gè)入射波的電功率值和所述多個(gè)反射波的電功率值求取。

5.如權(quán)利要求1所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

所述微波導(dǎo)入裝置具有第1微波導(dǎo)入組件至第7微波導(dǎo)入組件作為所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件，

所述處理容器包括頂部，該頂部具有使分別由所述第1微波導(dǎo)入組件至第7微波導(dǎo)入組件導(dǎo)入的所述微波通過(guò)所述處理容器內(nèi)的第1微波導(dǎo)入口至第7微波導(dǎo)入口，

所述第1微波導(dǎo)入口配置在所述頂部的中央部分，

第2微波導(dǎo)入口至第7微波導(dǎo)入口分別配置在所述頂部中以所述第1微波導(dǎo)入口為中心的假想的正六邊形的頂點(diǎn)。

6.如權(quán)利要求5所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

選自所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件構(gòu)成的組合包括所述第1微波導(dǎo)入組件和所述第2微波導(dǎo)入組件至第7微波導(dǎo)入組件中任一微波導(dǎo)入組件構(gòu)成的組合。

7.如權(quán)利要求5所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

選自所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件構(gòu)成的組合包括第1組合、第2組合和第3組合中的至少一個(gè)，其中，第1組合是組合沿著所述假想的正六邊形的外周相鄰的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件，第2組合是組合沿所述假想的正六邊形的外周每隔一個(gè)微波導(dǎo)入組件而相鄰的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件，第3組合是組合沿著所述假想的正六邊形的外周每隔兩個(gè)微波導(dǎo)入組件而相鄰的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件。

8.如權(quán)利要求5所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

選自所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的兩個(gè)微波導(dǎo)入組件構(gòu)成的組合是網(wǎng)羅全部所述第1微波導(dǎo)入組件至第7微波導(dǎo)入組件的組合。

9.如權(quán)利要求1所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

對(duì)所述差的絕對(duì)值和表示所述多個(gè)微波導(dǎo)入組件中的異常的規(guī)定的閾值進(jìn)行比較。

10.如權(quán)利要求9所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

所述差是對(duì)取得的全部的多個(gè)S參數(shù)相互進(jìn)行運(yùn)算而得到的多個(gè)差。

11.如權(quán)利要求10所述的異常檢測(cè)方法，其特征在于：

對(duì)所述多個(gè)差的絕對(duì)值的最大值和所述閾值進(jìn)行比較。