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[實用新型]一種單測頭自動薄板厚度測量裝置有效

專利信息
申請號: 201320485951.3 申請日: 2013-08-09
公開(公告)號: CN203375939U 公開(公告)日: 2014-01-01
發明(設計)人: 夏發平 申請(專利權)人: 昆山允可精密工業技術有限公司
主分類號: G01B11/06 分類號: G01B11/06
代理公司: 江蘇致邦律師事務所 32230 代理人: 謝偉
地址: 215300 江蘇省蘇州*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 單測頭 自動 薄板 厚度 測量 裝置
【權利要求書】:

1.一種單測頭自動薄板厚度測量裝置,其特征在于,包括:

測量平臺,所述的測量平臺包括支撐腳、平臺、鋼架底座、支撐座和固定橫梁;

所述的鋼架底座設在支撐腳上;

所述的平臺設在鋼架底座上;

所述的支撐座設在平臺上;

所述的固定橫梁設在支撐座上;

Z軸,所述的Z軸及Z軸動板安裝在固定橫梁上;

Y軸,所述的Y軸及Y軸動板安裝在平臺上,設于Z軸的正下方、垂直安裝于Z軸;

測頭,所述的測頭安裝在Z軸動板上;

薄板真空承載臺,所述的薄板真空承載臺固定在Y軸動板上,且位于測頭的正下方。

2.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,所述的Z軸設有伺服電機。

3.根據權利要求1所述的測量裝置,其特征在于,所述的測頭包括探針、彈性裝置、方形空氣導軌、空氣導軌進氣座、激光位移傳感器、頂板、光柵尺、空氣導軌導芯供氣接頭、測頭安裝座、測頭安裝底板和底板,所述的方形空氣導軌安裝在測頭安裝底板上,探針連接方形空氣導軌導芯的下端、貫穿底板,導芯下端與底板之間設有彈性裝置,空氣導軌進氣座設在方形空氣導軌的上方,激光位移傳感器設在空氣導軌進氣座的上方,與傳感器相連接的數據線貫穿頂板,光柵尺設置在激光位移傳感器的左側,空氣導軌導芯供氣接頭設在空氣導軌進氣座的左側、連接進氣座,測頭安裝座設在測頭安裝底板的左側。

4.根據權利要求3所述的測量裝置,其特征在于,所述的光柵尺平行安裝于激光位移傳感器。

5.根據權利要求3所述的測量裝置,其特征在于,所述的彈性裝置為精密彈簧。

6.根據權利要求3所述的測量裝置,其特征在于,所述方形空氣導軌的導芯內部為空芯結構,頂部連接方形導軌進氣座。

7.根據權利要求3所述的測量裝置,其特征在于,所述的方形導軌進氣座側面連接方形空氣導軌供氣接頭。

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