1.一種具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，用于提供半導(dǎo)體設(shè)備所需液體，其特征在于，所述循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)至少包括：供應(yīng)管路結(jié)構(gòu)和強行控制裝置；

所述供應(yīng)管路結(jié)構(gòu)至少包括：用于盛放所需液體的供應(yīng)箱；用于提供動力來源的循環(huán)泵，該循環(huán)泵與所述供應(yīng)箱的出口相連；

所述強行控制裝置用于緊急情況下強行啟動所述循環(huán)泵，所述強行控制裝置與供應(yīng)管路結(jié)構(gòu)中循環(huán)泵相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述供應(yīng)管路結(jié)構(gòu)還包括：

用于過濾液體中雜質(zhì)的過濾器，該過濾器與所述循環(huán)泵的出口相連；

所述供應(yīng)箱的入口處連接有備壓閥和與備壓閥的入口相連的第一壓力傳感器；所述供應(yīng)箱的出口與循環(huán)泵的入口之間還依次連接有第一氣動閥和第二氣動閥；所述循環(huán)泵的出口和過濾器的入口之間還依次連接有第三氣動閥和第二壓力傳感器；所述過濾器的出口連接有第三壓力傳感器和與第三壓力傳感器的出口相連的第四氣動閥；所述液體經(jīng)第四氣動閥后循環(huán)進(jìn)入第一壓力傳感器的入口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述強行控制裝置包括：

將電源電壓轉(zhuǎn)變?yōu)樗鰪娦锌刂蒲b置所需電壓的變壓器；

由所述變壓器接出的正極和負(fù)極；連接在所述正極和負(fù)極之間的第二時間繼電器、連接在所述正極和負(fù)極之間的第一時間繼電器；所述第二時間繼電器與第一時間繼電器相連；

設(shè)置在所述正極上的總開關(guān)；

與所述第一時間繼電器連接的普通繼電器，所述普通繼電器得失電由第一時間繼電器控制；

與所述總開關(guān)和所述普通繼電器分別相連接的電磁閥，所述電磁閥具有氣腔，所述電磁閥氣腔的出口與循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)中循環(huán)泵連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述電源電壓的范圍為100～250V。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述循環(huán)泵包括分別設(shè)于循環(huán)泵兩側(cè)的第一開關(guān)傳感器和第二開關(guān)傳感器、設(shè)于所述第一開關(guān)傳感器和第二開關(guān)傳感器之間且用于控制循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)中管道液體通斷的活塞。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述電磁閥氣腔的入口連接有氣源，所述氣源與電磁閥之間還設(shè)有用于調(diào)節(jié)氣壓的調(diào)壓閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述氣源為壓縮空氣。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有強行控制裝置的循環(huán)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于：所述強行控制裝置中還包括一與所述變壓器相連的插頭。