[實用新型]排液槽裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320145742.4 | 申請日： | 2013-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN203173802U | 公開（公告）日： | 2013-09-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張文武;楊群;太雙;刁春華;周鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B67D7/02 | 分類號： | B67D7/02;B67D7/78 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 排液槽 裝置 | ||
1.一種排液槽裝置，其特征在于，包括：
排液槽；
進液管，與所述排液槽連接；
排液泵；
第一排液管，一端與所述排液泵連接，另一端伸入所述排液槽中；
第二排液管，與所述排液泵連接；
處理器，與所述排液泵連接；
排氣管，一端與所述排液槽連接，另一端與所述第二排液管連接；以及
排氣閥，設置在所述排氣管上。
2.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括設置在所述第一排液管上的第一手動閥。
3.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括設置在所述第二排液管上的第二手動閥。
4.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括與所述排液槽連接的通氣管。
5.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排液槽裝置還包括至少一個傳感器，所述傳感器設置在所述排液槽內(nèi)并與所述處理器連接。
6.如權(quán)利要求5所述的排液槽裝置，其特征在于，所述傳感器為兩個。
7.如權(quán)利要求6所述的排液槽裝置，其特征在于，其中一個傳感器為高位傳感器，設置在所述排液槽側(cè)壁高度的中點處；另外一個傳感器為低位傳感器，設置在低于所述高位傳感器水平位置的所述排液槽內(nèi)。
8.如權(quán)利要求7所述的排液槽裝置，其特征在于，所述第一排液管伸入所述排液槽內(nèi)的位置低于所述低位傳感器的水平高度。
9.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣閥為氣動閥，并與所述處理器連接。
10.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣閥為電磁閥，并與所述處理器連接。
11.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣閥為手動閥。
12.如權(quán)利要求1所述的排液槽裝置，其特征在于，所述排氣管的長度小于10米。
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