技術領域

本實用新型關于一種貼膜設備，尤指一種晶圓貼膜設備及其拉膜裁切機構。

背景技術

目前市面上裁切膠膜的機臺，都會利用一或多個刀具將放置載板上的膠膜裁切呈多個分離膠膜，而供后續框架黏接。

然而，放置載板上的膠膜若不平整，則后續與框架黏接時，黏在框架上的膠膜也會產生不平整，而影響后續晶圓的黏貼狀況，嚴重者，導致晶圓的制程或檢測發生問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶圓貼膜設備及其拉膜裁切機構，其利用移動吸附區會朝遠離固定吸附區的方向移動，以給予黏膜一拉力，使黏膜平整，而便利后續晶圓黏貼于黏膜，讓晶圓的制程或檢測更加穩定。

本實用新型提供一種晶圓貼膜設備的拉膜裁切機構，用于一黏膜，該拉膜裁切機構包括：

一吸附區，包含一固定吸附區及對應該固定吸附區一側往復移動的一移動吸附區；以及

一移動刀具，對應該吸附區設置。

進一步地，該固定吸附區具有相互垂直的一第一側邊及一第二側邊，該第一側邊和所述黏膜的拉伸方向呈垂直設置，該移動刀具對應該第一側邊設置并能夠沿著一方向往復移動，該移動吸附區對應該第二側邊設置。

進一步地，該拉膜裁切機構還包含一附加電路板、一拉板及連接并帶動該拉板相對該附加電路板往復移動的一拉板驅動器，該附加電路板上形成有該固定吸附區，該拉板上形成有該移動吸附區。

進一步地，該附加電路板自側邊朝內設有一凹槽，該拉板容置于該凹槽。

進一步地，該附加電路板相對該凹槽的兩側形成兩邊條，各邊條自該附加電路板的內部朝外逐漸增加厚度。

進一步地，該附加電路板自側邊朝內設有一凹口。

進一步地，該拉膜裁切機構還包含一活動壓膜組件，該活動壓膜組件包含一壓膜件及連接并帶動該壓膜件活動于該固定吸附區的一壓膜活動器。

進一步地，該附加電路板具有一滑軌，該移動刀具包含一滑動器及固定在該滑動器的一刀具組，該滑動器滑接于該滑軌。

本實用新型提供一種晶圓貼膜設備，包括：

一裁切傳動裝置，包含一連續循環帶動機構及所述的晶圓貼膜設備的拉膜裁切機構，該連續循環帶動機構連接并帶動該拉膜裁切機構沿一路徑循環移動；

一卷膜裝置，對應該拉膜裁切機構設置，該卷膜裝置包含供黏膜套設的一固定軸，所述黏膜自該固定軸朝吸附區的方向拉伸；以及

一框架，對應分離的所述黏膜黏接。

進一步地，還包括一下框區域及一搬移機構，吸附有分離所述黏膜的該吸附區位于該下框區域中，該搬移機構設置在該下框區域的上方，且該搬移機構能夠移動于該下框區域中，該搬移機構包含一移動器及連接該移動器的一吸附件，該吸附件能夠吸附該框架并壓制該框架和分離的所述黏膜相互黏接。

本實用新型具有以下優點：

第一、黏膜被吸附于吸附區時，移動吸附區會朝遠離固定吸附區的方向移動，以給予黏膜一拉力，進而將黏膜拉整平整，以讓后續框架及晶圓黏膜的黏貼更平整緊密，并使晶圓的制程或檢測更加穩定。

第二、各固定吸附區具有相互垂直的第一側邊及第二側邊，第一側邊和黏膜的拉伸方向呈垂直配設，移動吸附區對應第二側邊配置，使各拉膜裁切機構沿一路徑循環移動時，固定吸附區給予黏膜一直向拉力，同時移動吸附區朝遠離固定吸附區的方向移動，又給予黏膜一橫向拉力，讓黏膜受垂直兩向的拉力整平，進而加強吸附區上的黏膜的平整性。

第三、各附加電路板相對凹槽的兩側形成邊條，各邊條自附加電路板的內部朝外逐漸增加厚度，進而提升邊條的結構強度，使搬移機構壓制框架和分離的黏膜相互黏接時，邊條不易受力變形，達到拉膜裁切機構具有良好地結構穩定度。

第四、各附加電路板自側邊朝內設有凹口，從而供相鄰的拉膜裁切機構的移動刀具能夠穿設過凹口，以減小各拉膜裁切機構之間的間距，進而讓晶圓貼膜設備的體積縮小。

第五、拉膜裁切機構還包含活動壓膜組件，活動壓膜組件包含壓膜件及連接并帶動壓膜件活動于固定吸附區的壓膜活動器，使黏膜被吸附吸附區時，壓膜件會壓制黏膜，避免黏膜因受移動刀具牽動而翹起，讓后續框架及晶圓黏膜的黏貼更平整緊密。

第六、移動刀具沿著一方向往復移動，且移動刀具的移動距離大于黏膜的寬度，使移動刀具直接一刀切斷黏膜，此一刀切斷的方向，不以本實施例為限，可視實際情況予以調整，讓分離的黏膜配合本身的外型呈矩形狀或方形狀，而非經由移動刀具后續加工形成，故沒有廢料的產生，以達到有效利用資源及節省成本的特點。

附圖說明

圖1：本實用新型貼膜設備的立體示意圖。

圖2：本實用新型貼膜設備的俯視圖。