[實(shí)用新型]一種投影光學(xué)系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320089991.6 | 申請(qǐng)日： | 2013-02-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203133401U | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙衛(wèi);謝永軍;康福増;張周鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號(hào)： | G02B27/18 | 分類號(hào)： | G02B27/18;G02B27/00;G02B27/42;G02B7/04;G03B21/14 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 投影 光學(xué)系統(tǒng) | ||
1.一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述投影光學(xué)系統(tǒng)包括投影光學(xué)系統(tǒng)像面、折射投影光學(xué)系統(tǒng)、第二反射光學(xué)系統(tǒng)以及第一反射光學(xué)系統(tǒng)；所述投影光學(xué)系統(tǒng)像面、折射投影光學(xué)系統(tǒng)以及第二反射光學(xué)系統(tǒng)依次設(shè)置在同一光路上；所述第一反射光學(xué)系統(tǒng)設(shè)置在經(jīng)第二反射光學(xué)系統(tǒng)反射后的所形成的反射光的光路上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述折射投影光學(xué)系統(tǒng)包括前固定鏡組、變焦鏡組以及后固定鏡組；所述投影光學(xué)系統(tǒng)像面、后固定鏡組、變焦鏡組以及前固定鏡組依次設(shè)置在同一光路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述前固定鏡組、變焦鏡組以及后固定鏡組均包括一個(gè)或多個(gè)透鏡組成；所述透鏡上設(shè)置有衍射層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述前固定鏡組、變焦鏡組以及后固定鏡組中的透鏡是球面光學(xué)系統(tǒng)、折射球面系統(tǒng)或非球面光學(xué)系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述前固定鏡組、變焦鏡組以及后固定鏡組中的透鏡是折射球面系統(tǒng)時(shí)，所述透鏡是自由曲面光學(xué)系統(tǒng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一反射光學(xué)系統(tǒng)是非球面光學(xué)系統(tǒng)、自由曲面光學(xué)系統(tǒng)或平面反射鏡光學(xué)系統(tǒng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第二反射光學(xué)系統(tǒng)是非球面光學(xué)系統(tǒng)、自由曲面光學(xué)系統(tǒng)或平面反射鏡光學(xué)系統(tǒng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一反射光學(xué)系統(tǒng)以及第二反射光學(xué)系統(tǒng)均是非球面光學(xué)系統(tǒng)、自由曲面光學(xué)系統(tǒng)或平面反射鏡光學(xué)系統(tǒng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述投影光學(xué)系統(tǒng)還包括像方遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，所述像方遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)、投影光學(xué)系統(tǒng)像面以及折射投影光學(xué)系統(tǒng)依次處于同一光路上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述投影光學(xué)系統(tǒng)還包括設(shè)置在經(jīng)第一反射光學(xué)系統(tǒng)反射后的所形成的反射光的光路上的投影屏。
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