技術領域

本發明涉及將液滴噴出并記錄于被記錄介質的液體噴射頭、使用了該液體噴射頭的液體噴射裝置以及液體噴射頭的制造方法。

背景技術

近年來，將油墨滴噴出至記錄紙等以記錄字符、圖形，或者將液體材料噴出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的噴墨(ink?jet)方式的液體噴射頭得到利用。該方式將油墨、液體材料等液體從液體儲罐經由供給管導引至通道，對填充于通道的液體施加壓力并從連通于通道的噴嘴噴出液體。在噴出液體時，移動液體噴射頭、被記錄介質以記錄字符、圖形，或者形成既定形狀的功能性薄膜。

圖15以及圖16是專利文獻1所記載的微滴附著裝置的截面圖以及局部立體圖(專利文獻1的圖5以及圖7)。如圖15所示，微滴附著裝置為基板86和層疊于其表面120上的蓋部件130。基板86在兩端部安裝集成電路84，在中央部形成由槽構成的通道82，在將通道82沿紙面垂直方向分隔的壁上設置層100，層100包括由壓電物質構成的兩個條片110a、110b，在通道82的底部沿紙面垂直方向形成兩列微滴噴出用的噴嘴96a、96b。在蓋件部件130形成歧管(manifold)88、90、92，形成分別連通于各歧管88、90、92，用于使液體通過的導管150a、150b、150c。兩片條片110a、110b在其上部設置作用部分140a、140b，作用部分140a、140b從上部側封閉各通道。

供給至歧管90的油墨流入通道82，流至通道82的兩端部并從歧管88、92排出。從歧管90供給的油墨經由導管150b流入紙面垂直方向的其他通道，從其他通道經由導管150a、150c而流出至歧管88、92并排出。驅動條片110a以對其下方的油墨產生壓力脈沖，從噴嘴96a噴出微滴。同樣地，驅動條片110b以對其下方的油墨產生壓力脈沖，從噴嘴96b噴出微滴。

圖16是壓電物質110a以及通道82的部分的放大圖。在基板86形成由槽構成的通道82，在通道82與里側的通道之間形成側壁113，在該壁的頂部設置條片110a。在構成通道82的側壁113以及條片110a的側面形成電極190’。而且，在頂部表面113’、斜切部195、側壁113的上部、以及基板86的表面120形成相互電分離的導電性軌跡192’和導電性軌跡192’’。由此，能夠對側壁113的近前側的電極190’和里側的電極190’’施加驅動信號。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2002-529289號公報。

發明內容

發明要解決的問題

如圖16所示，在專利文獻1的微滴附著裝置中，需要對從基板86的表面120突出的條片110a的頂部表面113’、斜切部195的電極材料進行圖案形成以進行分割。在專利文獻1中，記載有能夠通過激光射束對其進行分割的內容，另外，還記載有能夠通過使用物理掩模或通過使用電氣放電設備而更簡單地進行分割的內容。但是，在使用激光射束進行分割的情況下，必須對多個并列地形成的側壁113和條片110a中的每個通過激光射束掃描頂部表面113’、斜切部195的表面以及側壁113的表面120以進行電極的圖案形成，需要較長時間，生產率極低。另外，側壁113的厚度、以及頂部表面113’的寬度較窄，為40μm～100μm，而且在條片110a的頂部表面113’與基板86的表面120之間存在階梯差。因此，難以使用感光性樹脂成批地進行圖案形成。另外，將掩模設置于頂部表面113’、斜切部195的表面以及基板86的表面120的工序自身極為困難。

本發明鑒于上述問題而完成，其目的在于提供能夠在側壁的側面、上表面容易地形成電極的液體噴射頭、液體噴射裝置以及液體噴射頭的制造方法。

用于解決問題的方案

本發明的液體噴射頭具備：促動器基板，其具有被由壓電體構成的細長的壁分隔的細長的噴出槽和細長的非噴出槽，所述噴出槽與所述非噴出槽交替地排列，所述非噴出槽的一側端部具有從所述非噴出槽的底面上切至上部的上表面開口的傾斜面，在所述壁的面向所述噴出槽的兩側面沿所述壁的長度方向帶狀地設置公用電極，在所述壁的面向所述非噴出槽的兩側面沿所述壁的長度方向帶狀地設置有源電極，所述有源電極從所述非噴出槽的一側端部近前設置至另一側端部。

另外，具備：蓋板，其設置于所述促動器基板上部，具有連通于所述噴出槽一側的第一狹縫、和連通于所述噴出槽另一側的第二狹縫；以及噴嘴板，其設置于所述促動器基板下部，具有連通于所述噴出槽的噴嘴。

另外，所述公用電極從所述噴出槽的所述第一狹縫所開口的位置設置至所述噴出槽的另一側端部。