1.一種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊、曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊和數(shù)據(jù)處理模塊；

所述光罩信息模塊中存儲(chǔ)有光罩信息，所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中存儲(chǔ)有曝光機(jī)文件，所述曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中存儲(chǔ)有建立曝光機(jī)文件時(shí)所需條件的參數(shù)信息；

所述數(shù)據(jù)處理模塊調(diào)取光罩信息模塊中存儲(chǔ)的光罩信息，并根據(jù)該光罩信息調(diào)取存儲(chǔ)于所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中的曝光機(jī)文件，所述數(shù)據(jù)處理模塊同時(shí)調(diào)取曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中的參數(shù)信息后，將曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)，并將比對(duì)結(jié)果進(jìn)行輸出。

2.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息一致，所述數(shù)據(jù)處理模塊輸出比對(duì)結(jié)果正確；

當(dāng)所述曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息不一致，所述數(shù)據(jù)處理模塊輸出比對(duì)結(jié)果不正確。

3.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括操作終端，通過所述操作終端將所述曝光機(jī)文件輸入至所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中。

4.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，通過一微型機(jī)對(duì)所述比對(duì)結(jié)果進(jìn)行顯示。

5.如權(quán)利要求4所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理模塊中設(shè)置有批量處理單元，通過所述批量處理單元同時(shí)調(diào)取若干個(gè)曝光機(jī)文件。

6.如權(quán)利要求5所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，采用宏處理單元作為所述批量處理單元。

7.如權(quán)利要求6所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，通過所述操作終端，采用Excel?VBA工具對(duì)所述宏處理單元寫入宏命令。

8.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊的終端為曝光機(jī)臺(tái)自帶的服務(wù)器。