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[發明專利]一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統及方法有效

專利信息
申請號: 201310473266.3 申請日: 2013-10-11
公開(公告)號: CN103499309A 公開(公告)日: 2014-01-08
發明(設計)人: 賈辛;徐富超;謝偉民;邢廷文 申請(專利權)人: 中國科學院光電技術研究所
主分類號: G01B11/24 分類號: G01B11/24
代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 代理人: 楊學明;顧煒
地址: 610209 *** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 帶有 環境 反饋 自動 干涉 檢測 系統 方法
【權利要求書】:

1.一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統,其特征在于,包括:獨立地基(1)、第一振動測量探頭(2)、主動隔振系統(3)、大理石平臺(4)、第二振動測量探頭(5)、調整架(6)、第三振動測量探頭(7)、轉臺(8)、待測鏡架(9)、第四振動測量探頭(10)、第一導軌(11)、第二導軌(12)、干涉儀衍架(13)、溫度測量探頭(14)、外殼(15)、干涉儀測量頭(16)、第五振動測量頭(17)和計算機(18);其中:獨立地基(1)上放置主動隔振系統(3)和第一振動測量探頭(2);主動隔振系統(3)上放置大理石平臺(4),大理石平臺(4)上面放置調整架(6),第二振動測量探頭(5)放置在大理石平臺(4)側面;調整架(6)上方放置轉臺(8),第三振動測量探頭(7)放置在大理石平臺(4)臺面上;待測鏡架(9)放置在轉臺(8)上,第四振動測量探頭(10)放置在待測鏡架(9)邊上,干涉儀衍架(13)固定在大理石平臺(4)上,第一導軌(11)固定在干涉儀衍架(13)一側,第二導軌(12)固定在第一導軌(11)上,溫度測量探頭(14)固定在第二導軌(12)上,外殼(15)固定在大理石平臺(4)上,干涉儀測量頭(16)固定在干涉儀衍架(13)上,第五振動測量探頭(17)固定在干涉儀測量頭(16)邊上,計算機(18)與主動隔振系統(3)、第一振動測量探頭(2)、第二振動測量探頭(5)、第三振動測量探頭(7)、第四振動測量探頭(10)、第五振動測量探頭(17)、溫度測量探頭(14)、調整架(6)、轉臺(8)、第一導軌(11)、第二導軌(12)、干涉儀測量頭(16)相連;

獨立地基(1):用于隔離地面振動;

第一振動測量探頭(2):用于測量地面垂直振動;

主動隔振系統(3):用于進一步隔離地面振動;

大理石平臺(4):用于放置各種測量設備及配件;

第二振動測量探頭(5):用于測量大理石平臺水平振動;

調整架(6):用于調整待測鏡架(9)的狀態;

第三振動測量探頭(7):用于測量大理石平臺臺面垂直振動;

轉臺(8):用于轉動待測鏡架(9);

待測鏡架(9):用于放置待測鏡;

第四振動測量探頭(10):用于測量待測鏡架上的垂直振動;

第一導軌(11):用于控制溫度測量探頭(14)的垂直方向移動;

第二導軌(12):固定在第一導軌(11)上,用于控制溫度測量探頭(14)的水平方向移動;

干涉儀衍架(13),用于固定干涉儀測量頭(16)和第一導軌(11);

溫度測量探頭(14),用于測量干涉儀測量頭(16)和待測鏡架(9)之間的溫度變化;

外殼(15):用于保持殼內的溫度和氣流的穩定;

干涉儀測量頭(16),用于干涉測量待測鏡面形;

第五振動測量探頭(17),用于測量干涉儀測量頭(16)上的垂直振動;

計算機(18):與主動隔振系統(3)、第一振動測量探頭(2)、第二振動測量探頭(5)、第三振動測量探頭(7)、第四振動測量探頭(10)、第五振動測量探頭(17)、溫度測量探頭(14)、調整架(6)、轉臺(8)、第一導軌(11)、第二導軌(12)相連,控制這些設備的運動或進行數據傳輸。

2.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統,其特征在于:所述第一振動測量探頭(2)、所述第二振動測量探頭(5)、所述第三振動測量探頭(7)、所述第四振動測量探頭(10)和第五振動測量探頭(17)均為加速度計或位移計,并均通過計算機(18)進行數據輸出。

3.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統,其特征在于:所述第四振動測量探頭(10)為加速度計或位移計,或激光干涉測量探頭,并通過計算機(18)進行數據輸出。

4.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統,其特征在于:所述第一導軌(11)固定在干涉儀衍架(13)上、第二導軌(12)固定在第一導軌(11)上,第一導軌、第二導軌通過計算機控制溫度測量探頭的垂直和水平運動,第一導軌(11)采用機械導軌或氣吸浮導軌,第二導軌(12)可以伸縮。

5.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統,其特征在于:所述溫度測量探頭(14)采用溫度傳感器。

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