[發(fā)明專利]形狀測量裝置、形狀測量方法、和形狀測量程序在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310413022.6 | 申請日: | 2013-09-11 |
| 公開(公告)號: | CN103673920A | 公開(公告)日: | 2014-03-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 中務(wù)貴司 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社其恩斯 |
| 主分類號: | G01B11/24 | 分類號: | G01B11/24;G01B11/25 |
| 代理公司: | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人: | 陳源;李銘 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 形狀 測量 裝置 測量方法 程序 | ||
1.一種形狀測量裝置,包括:
載物臺,其上安裝測量對象;
光投射單元,其被構(gòu)造為利用用于形狀測量的第一光從斜上方照射安裝在所述載物臺上的所述測量對象,并且利用用于表面狀態(tài)成像的第二光從上方或者從斜上方照射安裝在所述載物臺上的所述測量對象;
光接收單元,其被布置在所述載物臺的上方,并且被構(gòu)造為接收被安裝在所述載物臺上的所述測量對象反射的所述第一光和所述第二光,并輸出表示光接收量的光接收信號;
第一數(shù)據(jù)生成單元,其被構(gòu)造為基于所述光接收單元輸出的與所述第一光對應(yīng)的光接收信號,通過三角測距法來生成表示所述測量對象的立體形狀的第一立體形狀數(shù)據(jù);
相對距離改變單元,其通過在所述光接收單元的光軸方向上改變所述光接收單元和所述載物臺之間的相對距離,來改變所述光接收單元的焦點位置;
第二數(shù)據(jù)生成單元,其在通過所述相對距離改變單元改變所述焦點位置的同時,基于所述光接收單元輸出的與所述第二光對應(yīng)的多個光接收信號來生成多條數(shù)據(jù),并且通過從生成的所述多條數(shù)據(jù)中提取在聚焦于所述測量對象的多個部分中的每一個部分時得到的多個數(shù)據(jù)部分并進行合成,來生成表示所述測量對象的表面狀態(tài)的狀態(tài)數(shù)據(jù);
合成單元,其通過合成由所述第一數(shù)據(jù)生成單元生成的所述第一立體形狀數(shù)據(jù)以及由所述第二數(shù)據(jù)生成單元生成的所述狀態(tài)數(shù)據(jù),來生成表示合成了所述測量對象的立體形狀和表面狀態(tài)的圖像的合成數(shù)據(jù);以及
顯示部,其基于所述合成單元生成的所述合成數(shù)據(jù)來顯示合成了所述測量對象的立體形狀和表面狀態(tài)的圖像。
2.如權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置,其中
所述光投射單元包括:第一光投射單元,其被構(gòu)造為利用所述第一光來照射所述測量對象;以及第二光投射單元,其被構(gòu)造為利用所述第二光來照射所述測量對象;
所述第一光投射單元包括:用于發(fā)出光的測量光源;以及圖案生成部分,其通過將從所述測量光源發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為具有用于形狀測量的圖案的光來生成所述第一光,所述第一光投射單元被布置為沿相對于所述光接收單元的光軸傾斜第一角度的方向發(fā)出所述第一光,所述第一角度大于0度且小于90度,以及
所述第二光投射單元被布置為沿平行于所述光接收單元的光軸的方向或者沿相對于所述光接收單元的光軸傾斜第二角度的方向發(fā)出具有均勻光量分布的所述第二光,所述第二角度小于所述第一角度。
3.如權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置,其中
所述光投射單元包括:
用于發(fā)射光的測量光源;以及
圖案生成部分,其被構(gòu)造為通過將從所述測量光源發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為具有用于形狀測量的圖案的光來生成所述第一光,并且被構(gòu)造為通過將從所述測量光源發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為具有均勻光量分布的光來生成所述第二光。
4.如權(quán)利要求1所述的形狀測量裝置,還包括:
操作單元,其用于單獨地設(shè)置第一光量條件和第二光量條件,其中,通過對從所述光投射單元照射的所述第一光的強度或者所述光接收單元在接收被所述測量對象反射的所述第一光時的曝光時間進行調(diào)節(jié)來限定所述第一光量條件,通過對所述第二光的強度或者所述光接收單元在接收被所述測量對象反射的所述第二光時的曝光時間進行調(diào)節(jié)來限定第二光量條件,以及所述操作單元用于接收來自用戶的形狀測量的指令,其中
當(dāng)所述操作單元從用戶接收到形狀測量的指令時,所述第一數(shù)據(jù)生成單元基于所述測量對象在所述第一光量條件下被所述第一光照射時而由所述光接收單元輸出的光接收信號,來生成所述測量對象的所述第一立體形狀數(shù)據(jù),并且所述第二數(shù)據(jù)生成單元基于所述測量對象在所述第二光量條件下被所述第二光照射時而由所述光接收單元輸出的光接收信號,來生成所述測量對象的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)。
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