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[發(fā)明專利]放置設(shè)備的放置頭的運(yùn)動學(xué)保持系統(tǒng)在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310304630.3 申請日: 2013-07-18
公開(公告)號: CN103579046A 公開(公告)日: 2014-02-12
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 翰尼斯·科斯特納;迪特馬爾·萊克納;弗洛里安·斯皮爾;馬丁·維道爾 申請(專利權(quán))人: 貝思瑞士股份公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 代理人: 黃剛;車文
地址: 瑞士*** 國省代碼: 瑞士;CH
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 放置 設(shè)備 運(yùn)動學(xué) 保持 系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:

1.放置設(shè)備的放置頭(2)的運(yùn)動學(xué)保持系統(tǒng),所述放置設(shè)備用于將電子部件或光學(xué)部件(7)安裝在襯底(3)上,所述運(yùn)動學(xué)保持系統(tǒng)包括:

放置頭引導(dǎo)裝置(18),包括用于保持所述放置頭(2)的放置頭支撐件(1);和

放置頭對準(zhǔn)裝置,用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的對準(zhǔn),其中

所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括接頭(4、4′),所述放置頭(2)經(jīng)由所述接頭被以可調(diào)整傾斜度的方式支撐在所述放置頭支撐件(1)上,并且其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個長度可變的保持構(gòu)件,所述至少一個長度可變的保持構(gòu)件被布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間且與所述接頭(4、4′)成間距,所述至少一個長度可變的保持構(gòu)件確定所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的樞轉(zhuǎn)位置,并且在放置操作期間,取決于由所述放置頭(2)擠壓抵靠所述襯底(3)的擠壓力而導(dǎo)致的所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形,所述至少一個長度可變的保持構(gòu)件的長度能夠以對由所述放置頭引導(dǎo)裝置的變形而導(dǎo)致的所述放置頭(2)的軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞蕉淖儭?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持系統(tǒng),其中所述長度可變的保持構(gòu)件具有平行于或橫向于所述放置頭(2)的縱向軸線(8)布置的縱向軸線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的保持系統(tǒng),其中借助于放置頭控制臺(11)將所述放置頭(2)可樞轉(zhuǎn)地安裝在所述放置頭支撐件(1)上,其中所述長度可變的保持構(gòu)件被支撐在所述放置頭控制臺(11)上。

4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括多個接頭桿(15a、15b),所述多個接頭桿經(jīng)由接頭連接到所述放置頭(2),且還連接到所述放置頭支撐件(1),并且所述多個接頭桿將所述放置頭(2)保持在相對于所述放置頭支撐件(1)可改變的預(yù)定位置中,其中借助于所述長度可變的保持構(gòu)件,所述接頭桿(15a、15b)的相對位置能夠以對所述放置頭(2)的由變形引起的所述軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞礁淖儭?/p>

5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述長度可變的保持構(gòu)件由以彈簧(12)為形式的受動元件組成,所述受動元件被布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間,布置方式使得所述放置頭支撐件(1)一方面經(jīng)由所述接頭(4)且另一方面經(jīng)由所述彈簧(12)將所述擠壓力傳遞到所述放置頭(2),其中由所述擠壓力產(chǎn)生的反作用力使所述彈簧(12)的長度產(chǎn)生改變。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述長度可變的保持構(gòu)件由行程控制或力控制的致動器(13)組成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的保持系統(tǒng),其中所述致動器(13)包括電直接驅(qū)動器、音圈或壓電驅(qū)動器。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的保持系統(tǒng),其中所述致動器(13)經(jīng)由杠桿布置或齒輪在所述放置頭(2)的軸向位置上動作。

9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括運(yùn)動阻擋裝置,用于阻擋所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的相對移動。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述致動器(13)被形成為可鎖定的致動器(13)。

11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述放置頭(2)在所述放置頭(2)的上端區(qū)域或底端區(qū)域中被以鐘擺的方式懸掛在所述放置頭支撐件(1)上,并且借助于接頭(4、4′)在Z方向上支撐所述放置頭(2),所述接頭具有至少一個旋轉(zhuǎn)自由度,并且至少一個長度可變的保持構(gòu)件被設(shè)置在所述接頭(4、4′)的下方或上方,用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的傾斜度。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的保持系統(tǒng),其中,所述接頭(4、4′)被布置為單軸線接頭、球窩接頭或萬向接頭。

13.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中設(shè)置多個長度可變的保持構(gòu)件,所述多個長度可變的保持構(gòu)件以所述多個長度可變的保持構(gòu)件在所述放置頭(2)上從不同方向動作的方式布置,使得所述放置頭(2)能夠在空間上多維樞轉(zhuǎn)。

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3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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