[發(fā)明專利]放置設(shè)備的放置頭的運(yùn)動學(xué)保持系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310304630.3 | 申請日: | 2013-07-18 |
| 公開(公告)號: | CN103579046A | 公開(公告)日: | 2014-02-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 翰尼斯·科斯特納;迪特馬爾·萊克納;弗洛里安·斯皮爾;馬丁·維道爾 | 申請(專利權(quán))人: | 貝思瑞士股份公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 | 代理人: | 黃剛;車文 |
| 地址: | 瑞士*** | 國省代碼: | 瑞士;CH |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 放置 設(shè)備 運(yùn)動學(xué) 保持 系統(tǒng) | ||
1.放置設(shè)備的放置頭(2)的運(yùn)動學(xué)保持系統(tǒng),所述放置設(shè)備用于將電子部件或光學(xué)部件(7)安裝在襯底(3)上,所述運(yùn)動學(xué)保持系統(tǒng)包括:
放置頭引導(dǎo)裝置(18),包括用于保持所述放置頭(2)的放置頭支撐件(1);和
放置頭對準(zhǔn)裝置,用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的對準(zhǔn),其中
所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括接頭(4、4′),所述放置頭(2)經(jīng)由所述接頭被以可調(diào)整傾斜度的方式支撐在所述放置頭支撐件(1)上,并且其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括至少一個長度可變的保持構(gòu)件,所述至少一個長度可變的保持構(gòu)件被布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間且與所述接頭(4、4′)成間距,所述至少一個長度可變的保持構(gòu)件確定所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的樞轉(zhuǎn)位置,并且在放置操作期間,取決于由所述放置頭(2)擠壓抵靠所述襯底(3)的擠壓力而導(dǎo)致的所述放置頭引導(dǎo)裝置(18)的變形,所述至少一個長度可變的保持構(gòu)件的長度能夠以對由所述放置頭引導(dǎo)裝置的變形而導(dǎo)致的所述放置頭(2)的軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞蕉淖儭?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持系統(tǒng),其中所述長度可變的保持構(gòu)件具有平行于或橫向于所述放置頭(2)的縱向軸線(8)布置的縱向軸線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的保持系統(tǒng),其中借助于放置頭控制臺(11)將所述放置頭(2)可樞轉(zhuǎn)地安裝在所述放置頭支撐件(1)上,其中所述長度可變的保持構(gòu)件被支撐在所述放置頭控制臺(11)上。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括多個接頭桿(15a、15b),所述多個接頭桿經(jīng)由接頭連接到所述放置頭(2),且還連接到所述放置頭支撐件(1),并且所述多個接頭桿將所述放置頭(2)保持在相對于所述放置頭支撐件(1)可改變的預(yù)定位置中,其中借助于所述長度可變的保持構(gòu)件,所述接頭桿(15a、15b)的相對位置能夠以對所述放置頭(2)的由變形引起的所述軸線誤差即傾斜度進(jìn)行補(bǔ)償?shù)姆绞礁淖儭?/p>
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述長度可變的保持構(gòu)件由以彈簧(12)為形式的受動元件組成,所述受動元件被布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間,布置方式使得所述放置頭支撐件(1)一方面經(jīng)由所述接頭(4)且另一方面經(jīng)由所述彈簧(12)將所述擠壓力傳遞到所述放置頭(2),其中由所述擠壓力產(chǎn)生的反作用力使所述彈簧(12)的長度產(chǎn)生改變。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述長度可變的保持構(gòu)件由行程控制或力控制的致動器(13)組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的保持系統(tǒng),其中所述致動器(13)包括電直接驅(qū)動器、音圈或壓電驅(qū)動器。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的保持系統(tǒng),其中所述致動器(13)經(jīng)由杠桿布置或齒輪在所述放置頭(2)的軸向位置上動作。
9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述放置頭對準(zhǔn)裝置包括運(yùn)動阻擋裝置,用于阻擋所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的相對移動。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述致動器(13)被形成為可鎖定的致動器(13)。
11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中所述放置頭(2)在所述放置頭(2)的上端區(qū)域或底端區(qū)域中被以鐘擺的方式懸掛在所述放置頭支撐件(1)上,并且借助于接頭(4、4′)在Z方向上支撐所述放置頭(2),所述接頭具有至少一個旋轉(zhuǎn)自由度,并且至少一個長度可變的保持構(gòu)件被設(shè)置在所述接頭(4、4′)的下方或上方,用于調(diào)整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的傾斜度。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的保持系統(tǒng),其中,所述接頭(4、4′)被布置為單軸線接頭、球窩接頭或萬向接頭。
13.根據(jù)上述權(quán)利要求中任何一項(xiàng)所述的保持系統(tǒng),其中設(shè)置多個長度可變的保持構(gòu)件,所述多個長度可變的保持構(gòu)件以所述多個長度可變的保持構(gòu)件在所述放置頭(2)上從不同方向動作的方式布置,使得所述放置頭(2)能夠在空間上多維樞轉(zhuǎn)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備、驗(yàn)證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
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