技術領域

在此公開的實施方式涉及一種傳送系統。

背景技術

傳統公知一種用于傳送諸如半導體晶片或液晶面板之類的薄工件的機器人，以及一種用于通過檢測工件的取向而調整薄工件的調整器裝置。在下面的描述中，將調整器裝置稱作“基板定位裝置”。

有時有這樣的情況，在局部清潔的傳送室內安裝多個機器人以便提高吞吐量。經常有這樣的情況，即便在傳送室內安裝多個機器人，在傳送室內也僅布置一個基板定位裝置。

已經提出一種技術，該技術通過使用用于管理傳送室并控制機器人的操作的機器人控制裝置而控制多個機器人（例如參見日本專利申請2011-249726號公報）。

在上述傳統的傳送系統中，多個機器人由一個機器人控制裝置控制。這造成施加給機器人控制裝置沉重負擔的問題。

在額外安裝機器人以及基板定位裝置的情況下，需要改變機器人控制裝置的控制方法。因此，需要定制每種系統配置。

發明內容

在此公開的實施方式提供一種能夠輕松應對系統配置變化的傳送系統。

根據本發明的一個方面，提供一種傳送系統，該傳送系統包括：基板定位裝置，該基板定位裝置包括能繞旋轉中心旋轉的安裝臺，所述基板定位裝置構造成對置于所述安裝臺上的基板執行位置校準；多個機器人，這些機器人構造成將所述基板傳送至所述基板定位裝置以及從所述基板定位裝置傳送所述基板，這些機器人包括第一機器人與第二機器人；以及多個機器人控制裝置，這些機器人控制裝置以與所述多個機器人對應的關系設置，并構造成控制所述機器人的操作，這些機器人控制裝置包括第一機器人控制裝置與第二機器人控制裝置，所述第一機器人與所述基板定位裝置連接至所述第一機器人控制裝置，所述第二機器人連接至所述第二機器人控制裝置，其中，所述第一機器人控制裝置包括獲取單元以及傳輸單元，所述獲取單元構造成從所述基板定位裝置至少獲取所述安裝臺的旋轉中心與被定位的所述基板的中心位置之間的絕對偏差量，所述傳輸單元構造成向所述第二機器人所連接的所述第二機器人控制裝置傳輸基于由所述獲取單元獲取的所述絕對偏差量的校正信息。

根據一個實施方式能輕松應付系統配置的改變。

附圖說明

圖1是示出根據本實施方式的傳送系統的示意平面圖。

圖2是示出根據本實施方式的機器人的示意立體圖。

圖3是示出根據本實施方式的傳送系統的框圖。

圖4是示出基板定位裝置的示意平面圖。

圖5是示出示教位置的圖。

圖6是示出中心位置偏差量的圖。

圖7是示出校正處理的處理順序的流程圖。

具體實施方式

現將參照形成本發明的一部分的附圖詳細描述在此公開的傳送系統的一個實施方式。然而，本發明不限于以下描述的實施方式。

以下將借助實施例描述用于通過使用機器人傳送諸如半導體晶片之類的薄工件的傳送系統。薄工件將被稱作“晶片”。用于保持晶片的機器人的機器人手將被稱作“手”。

首先，將參照圖1描述根據本實施方式的傳送系統1。圖1是示出根據本實施方式的傳送系統1的示意平面圖。

在根據本實施方式的傳送系統1中，如圖1所示，分別為第一機器人10與第二機器人20設置第一機器人控制裝置30與第二機器人控制裝置40。第一機器人10與第二機器人20的操作分別由第一機器人控制裝置30與第二機器人控制裝置40控制。第一機器人控制裝置30也控制基板定位裝置50的操作。第一機器人控制裝置30可接收來自基板定位裝置50的信息，并且可將所述信息傳輸至第二機器人控制裝置40。

如圖1所示，根據本實施方式的傳送系統1包括主機設備60、第一機器人控制裝置30、第二機器人控制裝置40、第一機器人10、第二機器人20以及基板定位裝置50。

第一機器人控制裝置30與第二機器人控制裝置40連接至主機設備60，并且可與主機設備60通信。第一機器人10與基板定位裝置50連接至第一機器人控制裝置30，并且可與第一機器人控制裝置30通信。第二機器人20連接至第二機器人控制裝置40，并且可與第一機器人控制裝置40通信。第二機器人控制裝置40連接至第一機器人控制裝置30，并且可與第一機器人控制裝置30通信。

主機設備60是用于對傳送系統1執行全面控制與管理的裝置。例如，主機設備60通過第一機器人控制裝置30指示第一機器人10卸載置于基板定位裝置50上的晶片3，并且將晶片3傳送至與傳送室2并排安裝的處理室6。