技術領域

本實用新型屬于氣相沉積領域，更具體地說，是涉及一種化學氣相沉積設備的控制系統。

背景技術

現有的氣相沉積設備中，可編程控制器(Programmable?Logic?Controller，PLC)處理模塊與若干個可編程控制器控制模塊之間的連接采用EtherNet/IP業以太網協議的星形網絡拓撲結構，每個可編程控制器控制模塊與可編程控制器處理模塊都是單網絡連接線50連接，具體請參照圖1。

如圖1所示為現有的一種化學氣相沉積設備的控制系統的示意圖，可編程控制器(PLC)處理模塊10與可編程控制器控制模塊K₁，K₂，K₃，...，K_j，...，K_m-1，K_m采用EtherNet/IP工業以太網協議的星形網絡拓撲結構，其中，1≤j≤m，且j為自然數，可編程控制器控制模塊K_j與可編程控制器處理模塊10都為單網絡連接線50連接，當星形網絡中有任意一處的網絡連接線50出現故障時，就會導致相應網絡連接線50上的可編程控制器控制模塊K_j與可編程控制器處理模塊10失去通訊聯系，此時，相應的可編程控制器控制模塊K_j處于失控狀態，影響整個化學氣相沉積設備的正常運行。

實用新型內容

為了解決上述現有技術存在的問題，本實用新型提供了一種化學氣相沉積設備的控制系統，用于控制化學氣相沉積設備進行沉積工藝，所述控制系統包括可編程控制器處理模塊及若干個可編程控制器控制模塊，所述若干個可編程控制器控制模塊和所述可編程控制器處理模塊通過多段網絡連接線串聯連接形成環形網絡，使得每個所述可編程控制器控制模塊通過雙向的網絡線路與所述可編程控制器處理模塊進行通訊聯系。

進一步地，所述環形網絡中任意一個所述可編程控制器控制模塊一端連接的一段網絡連接線出現故障時，所述任意一個可編程控制器控制模塊通過所述任意一個可編程控制器控制模塊另一端連接的一段網絡連接線與所述可編程控制器處理模塊進行通訊聯系。

進一步地，每個所述可編程控制器控制模塊包括一故障檢測模塊，所述故障檢測模塊用以檢測對應的可編程控制器控制模塊兩端分別連接的一段網絡連接線是否斷開，當所述故障檢測模塊檢測到一端的一段網絡連接線斷開時，所述對應的可編程控制器控制模塊通過另一端的一段網絡連接線向所述可編程控制器處理模塊發送故障信號，所述可編程控制器處理模塊連接一報警單元，所述可編程控制器處理模塊接收到所述故障信號后使所述報警單元發出報警信號。

進一步地，所述可編程控制器處理模塊還連接一顯示裝置，當所述故障檢測模塊檢測到所述對應的可編程控制器控制模塊一端連接的一段網絡連接線斷開時，所述對應的可編程控制器控制模塊記錄所述斷開的一段網絡連接線的位置，并形成相應的位置信號；所述對應的可編程控制器控制模塊通過另一端連接的一段網絡連接線向所述可編程控制器處理模塊發送位置信號，所述可編程控制器處理模塊接收到所述位置信號后使所述顯示裝置顯示所述斷開的一段網絡連接線的位置。

進一步地，所述可編程控制器處理模塊還包括一故障檢測模塊，所述故障檢測模塊用于檢測所述可編程控制器處理模塊兩端分別連接的一段網絡連接線是否斷開，當所述故障檢測模塊檢測到一端的一段網絡連接線斷開時，所述故障檢測模塊發送故障信號，所述可編程控制器處理模塊連接一報警單元，所述可編程控制器處理模塊接收到所述故障信號后使所述報警單元發出報警信號。

根據本實用新型的化學氣相沉積設備的控制系統，該控制系統通過若干個可編程控制器控制模塊與可編程控制器處理模塊通過多段網絡連接線串聯連接成一個閉合的環形網絡，使得每個可編程控制器控制模塊通過雙向的網絡線路網絡連接線與可編程控制器處理模塊進行通訊聯系。即使任一可編程控制器控制模塊一端連接的的一段網絡連接線發生故障使得該可編程控制器控制模塊與可編程控制器處理模塊失去通訊聯系，也可通過該可編程控制器控制模塊另一端連接的一段網絡連接線與可編程控制器處理模塊進行通訊聯系，提高了整個化學氣相沉積設備的控制系統的可靠性。

附圖說明

圖1是現有的一種化學氣相沉積設備的控制系統的示意圖。

圖2是本實用新型實施例的化學氣相沉積設備的控制系統的示意圖。

具體實施方式

為了更好地闡述本實用新型所采取的技術手段及其效果，以下結合本實用新型的實施例及其附圖進行詳細描述，其中，相同的標號始終表示相同的部件。