[實用新型]直拉法單晶硅生產用石英坩堝有效
| 申請號： | 201220130465.5 | 申請日： | 2012-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN202558962U | 公開（公告）日： | 2012-11-28 |
| 發明（設計）人： | 張勇 | 申請（專利權）人： | 安徽中科太陽能有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/10 | 分類號： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 安徽信拓律師事務所 34117 | 代理人： | 婁爾玉 |
| 地址： | 239200 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直拉法 單晶硅 生產 石英 坩堝 | ||
【權利要求書】：
1.一種直拉法單晶硅生產用石英坩堝，包括石英坩堝本體，其特征在于：所述本體內壁具有保護涂層。
2.根據權利要求1所述的直拉法單晶硅生產用石英坩堝，其特征在于：所述石英坩堝的堝體內壁的保護涂層為碳酸鋇涂層。
3.根據權利要求1所述的直拉法單晶硅生產用石英坩堝，其特征在于：所述石英坩堝的堝體內壁的保護涂層的厚度為1至3微米。
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