1.射頻離化硒源裝置，包括帶有Se源料桶的Se源蒸發區和帶有噴嘴的氣體輸出區，其特征在于：所述Se源蒸發區和氣體輸出區之間連接有氣體離化器；所述氣體離化器包括帶有法蘭的離化器殼體，離化器殼體內壁置有絕緣層，絕緣層內有兩個電極，兩個電極之間的空隙形成離化腔室；離化腔室與Se蒸汽輸入管和Ar氣輸入管相通，兩個電極引出與適配器兩端連接的電極接線柱；露在表面的輸氣管路均包有熱保護裝置。

2.根據權利要求1所述的射頻離化硒源裝置，其特征在于：所述氣體離化器下端帶有法蘭，離化器殼體為圓柱形不銹鋼殼體，離化器殼體內壁的絕緣層為熱塑性塑料，熱塑性塑料的上部分為臺階孔狀、下部分為圓柱軸狀；一個電極為外壁包于臺階孔狀熱塑性塑料內壁的環形電極，另一個電極為位于環形電極中心處的柱狀電極；絕緣層的下部分為圓柱軸狀的熱塑性塑料；Se蒸汽輸入管、Ar氣輸入管和電極接線柱通過陶瓷密封穿過所述熱塑性塑料的下部分通向離化腔室；所述熱保護裝置由輸氣管路上自內至外的熱保護層、熱屏蔽層和水冷保護層構成；所述熱保護層為石棉，熱屏蔽層為鎳層，所述水冷保護層為空中通水的橡膠套。

3.根據權利要求1所述的射頻離化硒源裝置，其特征在于：所述氣體離化器上、下兩端均帶有法蘭，離化器殼體為方形不銹鋼殼體，離化器殼體內壁的絕緣層為中心為方形空腔的熱塑性塑料，方形空腔相對應的兩壁上各置有一個平板狀電極，兩個電極相互平行，方形空腔形成離化腔室；下端的法蘭通向Se蒸汽輸入管，上端的法蘭通向氣體輸出區；Ar氣輸入管和電極接線柱通過陶瓷密封穿過所述熱塑性塑料通向離化腔室；所述熱保護裝置由輸氣管路上自內至外的熱保護層、熱屏蔽層和水冷保護層構成；所述熱保護層為石棉，熱屏蔽層為鎳層，所述水冷保護層為空中通水的橡膠套。

4.根據權利要求1-3中一項所述的射頻離化硒源裝置，其特征在于：所述Se源料桶靠近上邊緣的的桶壁上插有兩根構成十字形的連接桿，Se源料桶外壁上纏繞有兩端連接在PLC加熱控制器上的Se源料桶加熱絲，Se源料桶置于頂部帶有卡槽的蒸發區外殼體中，卡槽卡裝在Se源料桶的連接桿上，Se源料桶與蒸發區外殼體之間置有所述熱保護裝置；蒸發區外殼體上端的卡槽卡裝于連接桿上；裝有Se源料桶的蒸發區外殼體頂端有高鉻含量的鐵素體不銹鋼材料料筒上沿和料筒蓋；圓圈狀的料筒上沿上端面制有料筒上沿刀口，料筒蓋的中心處制有Se蒸汽輸出口、Se蒸汽輸出口旁制有填料口，料筒蓋的下端面制有料筒蓋刀口，料筒上沿刀口和料筒蓋刀口經銅墊圈密封咬合成一體，料筒上沿與料桶蓋通過禁錮螺栓連接后，料筒上沿與Se源料桶通過氬弧焊連接成一體，經螺釘與蒸發區外殼體密封固裝成一體；帶有法蘭的填料管的法蘭一端朝上，填料管另一端與填料口密封亞弧焊接成一體；填料管的法蘭端面上有密封蓋。

5.根據權利要求4所述的射頻離化硒源裝置，其特征在于：所述氣體輸出區包括帶有法蘭的高鉻含量的鐵素體不銹鋼氣體輸出腔管，法蘭上有腔管固定孔，氣體輸出腔管外壁套上連接座，連接座與腔管固定孔和放有離化器殼體輸氣管路的法蘭由螺栓密封固裝成一體；氣體輸出腔管外壁套上高鉻含量的鐵素體不銹鋼加熱套筒，所述腔管加熱套筒上制有螺旋狀的線槽，線槽上纏繞有套筒加熱絲，腔管加熱套筒上還纏繞有一圈熱偶線；纏繞有加熱絲和熱偶線的腔管加熱套筒外面套有底端帶有走線口的高鉻含量的鐵素體不銹鋼加熱套筒保護管，所述套筒加熱絲和熱偶線的端部從走線口引出；氣體輸出腔管上端內壁密封氬弧焊接有連接整流片、中心處為噴嘴的碳噴嘴整流裝置，所述碳噴嘴整流裝置和整流片構成噴嘴部分。