1.一種化學(xué)氣相沉積裝置，包括：反應(yīng)腔、傳輸腔，所述反應(yīng)腔具有頂壁，所述反應(yīng)腔底部設(shè)置有承載部件，所述反應(yīng)腔設(shè)置有加熱器與致動(dòng)裝置，所述傳輸腔內(nèi)設(shè)置有傳輸裝置用以在所述傳輸腔和所述反應(yīng)腔之間傳輸待處理或處理完畢的基片或承載有基片的板部件，所述承載部件具有承載面，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積裝置還包括清潔工具，所述清潔工具具有刮擦部和固定部，所述反應(yīng)腔具有清潔工具安裝部，當(dāng)所述固定部安裝在清潔工具安裝部上時(shí)，所述致動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述承載面使其相對(duì)所述清潔工具運(yùn)動(dòng)以使得所述清潔工具對(duì)所述承載面進(jìn)行清潔，當(dāng)翻轉(zhuǎn)所述清潔工具后，并將所述固定部設(shè)置在所述承載面上時(shí)，所述致動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述承載面運(yùn)動(dòng)，以使得所述清潔工具接觸所述頂壁并相對(duì)所述頂壁運(yùn)動(dòng)以對(duì)所述頂壁進(jìn)行清潔。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述清潔工具安裝部設(shè)置于所述反應(yīng)腔的頂壁。

3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述反應(yīng)腔頂壁包括面向所述承載部件的頂面，所述頂面的至少一部分為出氣表面。

4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述頂壁具有噴淋組件，所述出氣面為所述噴淋組件面向所述承載部件的表面，所述清潔工具安裝部設(shè)置在所述噴淋組件四周。

5.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述反應(yīng)腔的頂壁具有檢測(cè)孔，所述檢測(cè)孔為所述清潔工具安裝部。

6.如權(quán)利要求5所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述頂壁具有噴淋組件，所述檢測(cè)孔設(shè)置在所述噴淋組件上。

7.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述清潔工具包括若干子清潔部，所述子清潔部由所述傳輸裝置在所述傳輸腔和所述反應(yīng)腔之間傳輸。

8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述子清潔部為扇形結(jié)構(gòu)，所述清潔工具為所述子清潔部拼接而成的圓環(huán)形盤或圓形盤。

9.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述清潔工具的翻轉(zhuǎn)在所述傳輸腔內(nèi)完成。

10.如權(quán)利要求9所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述傳輸裝置將所述清潔工具傳輸?shù)剿鰝鬏斍缓髮⑺銮鍧嵐ぞ叻D(zhuǎn)。

11.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述化學(xué)氣相沉積裝置傳輸腔內(nèi)包括基片架，所述基片架用以放置所述基片和所述清潔工具。

12.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述傳輸腔為真空傳輸腔。

13.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刮擦部包括多個(gè)刷子單元。

14.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刮擦部包括多個(gè)刷布單元。

15.如權(quán)利要求13所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刷子單元具有基板及至少一種刷毛。

16.如權(quán)利要求15所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刷毛的材質(zhì)包括尼龍(nylon)、高鉻調(diào)制不銹鋼(SST)、銅及其合金(copper&alloy)、炭纖維(carbon?fiber)、碳納米管(carbon?nanotubes)、炭纖維網(wǎng)(carbon?mesh)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚醚醚酮(PEEK)和高分子復(fù)合材料中的一種或多種。

17.如權(quán)利要求14所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刷子單元具有基板及至少一種刷布。

18.如權(quán)利要求17所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，刷布的材質(zhì)是尼龍(nylon)、高鉻調(diào)制不銹鋼(SST)、銅及其合金(copper&alloy)、炭纖維(carbon?fiber)、碳納米管(carbon?nanotubes)、炭纖維網(wǎng)(carbon?mesh)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚醚醚酮(PEEK)和高分子復(fù)合材料中的一種或多種。

19.如權(quán)利要求15所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刷毛具有相同長(zhǎng)度。

20.如權(quán)利要求15所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述刷毛具有不同長(zhǎng)度。