技術(shù)領(lǐng)域

這里公開的實(shí)施方式涉及致動(dòng)器和致動(dòng)器冷卻方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)地，設(shè)置有諸如用于直線地移動(dòng)可移動(dòng)部件的直線馬達(dá)這樣的驅(qū)動(dòng)裝置的致動(dòng)器是已知的。然而，包含多個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置的致動(dòng)器處于發(fā)展中，并且被用作例如用于在抓住多個(gè)構(gòu)件的同時(shí)將它們移動(dòng)到指定位置的構(gòu)件傳送裝置（參見例如日本專利申請(qǐng)公開No.2001-105270）。

然而，傳統(tǒng)的致動(dòng)器不能抑制在可移動(dòng)部件周圍的溫度增加。在這個(gè)方面，有進(jìn)一步提升的空間。

具體地，在致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)裝置（例如，直線馬達(dá)等）中，可移動(dòng)部件的位置精度有可能被可移動(dòng)部件周圍的溫度增加所影響。鑒于此，傳統(tǒng)致動(dòng)器采取例如根據(jù)溫度執(zhí)行位置校正的措施。期望的是，盡可能地抑制在可移動(dòng)部件周圍的溫度增加。

在可移動(dòng)部件周圍的溫度增加很可能是由在定子中設(shè)置的線圈和布置在可移動(dòng)部件附近的外圍設(shè)備生成的熱引起的。

發(fā)明內(nèi)容

實(shí)施方式的一個(gè)方面提供能夠抑制在可移動(dòng)部件周圍的溫度增加的致動(dòng)器和致動(dòng)器冷卻方法。

根據(jù)實(shí)施方式的該方面的致動(dòng)器包括：一個(gè)或更多個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置，每一個(gè)所述驅(qū)動(dòng)裝置被構(gòu)造為直線地移動(dòng)可移動(dòng)部件；分隔部件，所述分隔部件設(shè)置為接近所述可移動(dòng)部件，并且被構(gòu)造為分隔在所述可移動(dòng)部件和用于控制所述驅(qū)動(dòng)裝置的控制裝置之間限定的空間；和風(fēng)扇，所述風(fēng)扇相對(duì)于所述分隔部件設(shè)置在所述可移動(dòng)部件一側(cè)，并且被構(gòu)造為吹動(dòng)相對(duì)于所述分隔部件在所述可移動(dòng)部件一側(cè)的分隔的空間中的空氣。

利用實(shí)施方式的該方面，可以抑制在可移動(dòng)部件周圍的溫度增加。

附圖說明

圖1A是示出根據(jù)第一實(shí)施方式的致動(dòng)器的示意圖；

圖1B是配置有控制板的致動(dòng)器的示意圖；

圖2是沿著圖1B的線II-II截取的截面圖；

圖3是沿著圖2的線III-III截取的截面圖；

圖4A是沿著圖3的線IVA-IVA截取的截面圖；

圖4B是沿著圖4A的線IVB-IVB截取的截面圖；

圖5是例示其中在引導(dǎo)部件之間的間隔根據(jù)與風(fēng)扇的距離而改變的情形的示意圖；以及

圖6是例示其中散熱片被設(shè)置在分隔部件中的情形的示意圖。

具體實(shí)施方式

在下文中，將參考附圖描述在本申請(qǐng)中公開的致動(dòng)器和致動(dòng)器冷卻方法的實(shí)施方式。然而，致動(dòng)器和致動(dòng)器冷卻方法不限于下面將描述的實(shí)施方式。

（第一實(shí)施方式）

圖1A是示出根據(jù)第一實(shí)施方式的致動(dòng)器的示意圖。圖1B是配置有控制板的致動(dòng)器的示意圖。在第一實(shí)施方式中的致動(dòng)器被用作例如用于在抓住構(gòu)件的同時(shí)將該構(gòu)件移動(dòng)到指定位置的構(gòu)件傳送模塊的頭部模塊。

如在圖1A中所示，在該實(shí)施方式中的致動(dòng)器1包括多個(gè)直線馬達(dá)10、框架20、分隔部件30和風(fēng)扇40。

每一個(gè)直線馬達(dá)10是用于沿著引導(dǎo)部件12直線地移動(dòng)插入管狀引導(dǎo)部件12中的軸11的驅(qū)動(dòng)裝置。引導(dǎo)部件12還用作磁性馬達(dá)框架。當(dāng)引導(dǎo)部件12的兩個(gè)相反的端部由框架20的第一支撐部21和第二支撐部22支撐時(shí)，每一個(gè)直線馬達(dá)10被固定到框架20。每一個(gè)直線馬達(dá)10的軸11由附接到第一支撐部21的第三支撐部25可直線移動(dòng)地支撐。

在第一實(shí)施方式中的致動(dòng)器1設(shè)置有十個(gè)直線馬達(dá)10。與各個(gè)直線馬達(dá)10相對(duì)應(yīng)的十個(gè)引導(dǎo)部件12并排設(shè)置。致動(dòng)器的直線馬達(dá)的數(shù)量不限于十個(gè)，并且可以設(shè)置用于伺服驅(qū)動(dòng)裝置的單個(gè)直線馬達(dá)。

框架20包括第一支撐部21、第二支撐部22、側(cè)壁部23、多個(gè)桿24a到24d、和第三支撐部25。

第一支撐部21和第二支撐部22是用于分別支撐引導(dǎo)部件12的頂端部和底端部的部件。側(cè)壁部23是用于覆蓋引導(dǎo)部件12的側(cè)表面的部件，并且被設(shè)置在風(fēng)扇40和最接近風(fēng)扇40的引導(dǎo)部件12之間。在側(cè)壁部23中形成排氣部（cutout），該排氣部用于使得由風(fēng)扇40吹出的空氣直接地與引導(dǎo)部件12接觸。稍后將詳細(xì)地描述。

桿24a到24d是用于支撐稍后將描述的直線馬達(dá)10的控制板的部件。桿24a和24b被設(shè)置在例如第一支撐部21中。桿24c和24d被設(shè)置在例如第二支撐部22中。

圖1B是配置有直線馬達(dá)10的控制板的致動(dòng)器1的示意圖。如在圖1B中所示，板盤(board?plate)50安裝在桿24a到24d的上端部。直線馬達(dá)10的控制板60安裝在板盤50上。控制板60是用于控制直線馬達(dá)10的控制裝置。