[發明專利]激光聚焦式測頭測量微幅振動的方法及其使用的裝置有效
| 申請號: | 201210322155.8 | 申請日: | 2012-09-04 |
| 公開(公告)號: | CN102829855A | 公開(公告)日: | 2012-12-19 |
| 發明(設計)人: | 劉一;潘良明;李矛 | 申請(專利權)人: | 上海市計量測試技術研究院 |
| 主分類號: | G01H9/00 | 分類號: | G01H9/00 |
| 代理公司: | 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113 | 代理人: | 陳志良 |
| 地址: | 201203 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 激光 聚焦 式測頭 測量 振動 方法 及其 使用 裝置 | ||
1.一種激光聚焦式測頭測量微幅振動的方法,其特征在于:將待測振動裝置移動至激光聚焦式測頭正下方,數據采集卡采集激光聚焦式測頭的信號傳輸至數據處理器,數據處理器輸出數字信號給數據采集卡,數據采集卡將數字信號轉換成模擬信號輸出給電動升降平臺控制器,電動升降平臺控制器驅動電動升降平臺移動;電動升降平臺在激光聚焦式測頭焦平面附近移動,記錄相應的移動距離L和測頭信號U,提取線性部分對移動距離L和測頭信號U做線性擬合,獲取移動距離L和測頭信號U之間的線性關系;當待測振動裝置開始振動時,待測振動裝置表面與激光聚焦式測頭表面的距離變化,激光聚焦式測頭信號相應發生變化,通過數據采集卡采集激光聚焦式測頭信號并傳輸至數據處理器記錄,激光聚焦式測頭信號的頻率和波形就反應了待測振動裝置的振動頻率和波形,根據移動距離L和測頭信號U之間的線性關系U=k*L+b,b是L為零時測頭的輸出信號,振幅為測頭信號振幅的1/k倍。
2.一種權利要求?1?所述測量方法所使用的激光聚焦式測頭測量微幅振動的裝置,其特征在于:底座上平面的一側固定L型支架,支架的頂部設置懸臂梁形式的電動升降平臺,電動升降平臺沿著支架升降,電動升降平臺懸臂端下側設置激光聚焦式測頭,激光聚焦式測頭正下方設有水平移動平臺和夾持待測振動裝置的夾具,夾具在水平移動平臺上面,水平移動平臺在底座的另一側上平面上,激光聚焦式測頭信號輸出至數據采集卡,數據采集卡將數據輸出給數據處理器,數據處理器將處理后的數據通過數據采集卡輸給電動升降平臺控制器,電動升降平臺控制器驅動電動升降平臺的上下移動。
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