[發明專利]探針測試裝置與其制造方法有效
| 申請號: | 201210293190.1 | 申請日: | 2012-08-16 |
| 公開(公告)號: | CN102998491A | 公開(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發明(設計)人: | 吳堅州;陳明祈;李忠哲 | 申請(專利權)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分類號: | G01R1/067 | 分類號: | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司: | 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
| 地址: | 中國臺灣新竹縣*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 探針 測試 裝置 與其 制造 方法 | ||
1.一種探針測試裝置的制造方法,其特征在于,該制造方法包括以下步驟:
提供一增強板;
將多個空間轉換板定位于該增強板上,該空間轉換板的其中一表面具有多個第一焊墊;
將該空間轉換板固定于該增強板上,并使該空間轉換板的內部電路電性連接于該增強板的內部電路;
于該空間轉換板上形成一光阻圖案,該光阻圖案具有多個開口,該第一焊墊是位于該開口內;
于每一開口內形成一金屬層,該金屬層覆蓋所述的第一焊墊,以形成多個第二焊墊;
去除該光阻圖案;
提供一電路板,并將該增強板的內部電路與該電路板的內部電路電性連接;及
提供一探針頭,該探針頭具有多個探針區,每一探針區皆對應到其中一空間轉換板,且該探針區包括多根探針,其特征在于該探針是借由該第二焊墊而與該空間轉換板的內部電路電性連接。
2.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于該金屬層是以電鍍的方式形成于該開口內。
3.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于于該增強板上設置有多個定位點,該空間轉換板是借由與該定位點相抵靠而定位在該增強板上。
4.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于將該空間轉換板定位于該增強板的步驟包括:
提供一定位框架,該定位框架上具有多個定位槽;
將該空間轉換板置放在該定位槽內;及
將該增強板靠近該定位框架,并使該空間轉換板焊接在該增強板上。
5.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,該制造方法還包括下述的步驟:于該第二焊墊的表面形成一抗氧化層。
6.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,該制造方法還包括下述的步驟:將所述的第二焊墊平坦化。
7.一種探針測試裝置,其特征在于,該探針測試裝置包括:
一電路板;
一增強板,該增強板設置在該電路板上,且該增強板的內部電路是與該電路板的內部電路電性連接;
多個空間轉換板,所述的空間轉換板是設置在該增強板上,且于每一空間轉換板上皆設有多個第一焊墊與多個第二焊墊,該第二焊墊是覆蓋該第一焊墊,且該些第二焊墊的上方表面處形成一平面;及
一探針頭,其特征在于該探針頭具有多個探針區,所述的探針區包括多個探針,該探針借由該第二焊墊而與該空間轉換板的內部電路電性連接;
其中,于至少一空間轉換板上,至少一第二焊墊及覆蓋在其下的第一焊墊兩者的中心線并非相重合。
8.如權利要求7所述的探針測試裝置,其特征在于,每一空間轉換板上的第二焊墊與其他相鄰的空間轉換板上相應位置的第二焊墊,其中心點的位置是位于同一條水平延長線或同一條垂直延長線。
9.如權利要求7所述的探針測試裝置,其特征在于,當所述的空間轉換板設置于該增強板上后,于該空間轉換板及該增強板之間填充有一底膠。
10.如權利要求7所述的探針測試裝置,其特征在于,該第二焊墊的材質與該第一焊墊的材質相同。
11.如權利要求7所述的探針測試裝置,其特征在于,該增強板的材質為陶瓷,而該空間轉換板的材質為有機材質。
12.如權利要求7所述的探針測試裝置,其特征在于,于第二焊墊的表面上形成有一抗氧化層。
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