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[發(fā)明專利]LOVE波型超微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210222513.8 申請日: 2012-06-29
公開(公告)號: CN102749130A 公開(公告)日: 2012-10-24
發(fā)明(設(shè)計)人: 文常保;丁娜;巨永鋒;許宏科;李演明;溫立民 申請(專利權(quán))人: 長安大學(xué)
主分類號: G01G9/00 分類號: G01G9/00
代理公司: 西安恒泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61216 代理人: 林兵
地址: 710064*** 國省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: love 波型超 微量 物質(zhì) 質(zhì)量 測量 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,包括在同一壓電基片材料(1)上制作的一個輸入叉指換能器(2)、兩個相同的輸出叉指換能器(3)、輸入叉指換能器的第一電極(5)、輸入叉指換能器的第二電極(6)、輸出叉指換能器的第一電極(7)、輸出叉指換能器的第二電極(8),以及覆蓋在輸入叉指換能器(2)、輸出叉指換能器(3)和壓電基片(1)上的LOVE波波導(dǎo)層(4);所述輸入叉指換能器的第一電極(5)、輸入叉指換能器的第二電極(6)、輸出叉指換能器的第一電極(7)和輸出叉指換能器的第二電極(8)的末端均從LOVE波波導(dǎo)層(4)中伸出;所述兩個輸出叉指換能器(3)分別對稱設(shè)置在輸入叉指換能器(2)的左、右兩側(cè),輸入叉指換能器(2)與輸出叉指換能器(3)之間的區(qū)域為測量區(qū)域(9)。

2.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的LOVE波波導(dǎo)層(4)的厚度h的計算公式為:

h=VSVL4fVS2-VL2---(1)]]>

式中,厚度h指LOVE波波導(dǎo)層(4)在水平高度上高出壓電基片材料(1)的距離,單位:米;VS是在壓電基片材料(1)上傳播的聲表面波速度,單位:米/秒;VL是在LOVE波波導(dǎo)層(4)中傳播的LOVE波速度,單位:米/秒;f為所設(shè)計器件的中心頻率,單位:赫茲。

3.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的LOVE波波導(dǎo)層(4)采用體橫波速度、密度均小于壓電基片材料(1)體橫波速度、密度的材料。

4.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的輸入叉指換能器(2)與輸出叉指換能器(3)具有相同尺寸的聲孔徑,該聲孔徑的尺寸為壓電基片材料(1)上聲表面波波長的60倍到100倍。

5.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的輸入叉指換能器(2)與兩個輸出叉指換能器(3)之間的間距相等,均為1微米到5厘米。

6.如權(quán)利要求5所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述輸入叉指換能器(2)與每個輸出叉指換能器(3)之間的間距為5毫米。

7.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的輸入叉指換能器(2)和輸出叉指換能器(3)是等叉指換能器或變跡叉指換能器。

8.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的壓電基片材料(1)采用壓電晶體。

9.如權(quán)利要求1所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的輸入叉指換能器的第一電極(5)、輸入叉指換能器的第二電極(6)、輸出叉指換能器的第一電極(7)和輸出叉指換能器的第二電極(8)從LOVE波波導(dǎo)層(4)伸出的長度均大于1微米。

10.如權(quán)利要求9所述的LOVE波型微量物質(zhì)質(zhì)量的測量裝置,其特征在于,所述的輸入叉指換能器的第一電極(5)、輸入叉指換能器的第二電極(6)、輸出叉指換能器的第一電極(7)和輸出叉指換能器的第二電極(8)從LOVE波波導(dǎo)層(4)伸出的長度均為2毫米。

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