技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種閥門，且特別是關(guān)于一種可擴(kuò)充且適用于大尺寸的真空閥門。

背景技術(shù)

閥門的應(yīng)用在目前的電子產(chǎn)業(yè)例如LCD面板制造業(yè)、薄膜太陽(yáng)能板制造產(chǎn)業(yè)等為越來(lái)越廣泛。為了降低成本，制備工藝中所使用的基材尺寸也隨著技術(shù)的進(jìn)步持續(xù)增加。據(jù)此，隨著基材尺寸增加，閥門的尺寸也必須對(duì)應(yīng)地增加。一般而言，對(duì)于5.5代(Gen?5.5)的玻璃而言，基材尺寸為1400x1100mm²，而所使用的閥門尺寸至少也要大于長(zhǎng)1.1m、寬約10cm的大小才能方便基材進(jìn)出。而目前的玻璃已經(jīng)發(fā)展到8代(Gen?8)(基材大小為2160x2460mm²)，且邁向10代(Gen?10)線的規(guī)格發(fā)展中。此時(shí)，若以傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)制作適用于8代(Gen?8)基材的閥門，此閥門尺寸可想而知將會(huì)非常巨大。而且，閥門尺寸越大，除了閥門的加工、控制不容易以外，推動(dòng)閥門所需的動(dòng)力也會(huì)相當(dāng)驚人，因?yàn)閴翰畛艘悦娣e等于受力。

以太陽(yáng)能板制備工藝而言，制備工藝中大部分的步驟例如化學(xué)氣相沉積(chemical?vapor?deposition，CVD)如：等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition，PECVD)或有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(metal?organic?chemical?vapor?deposition，MOCVD)，物理氣相沉積(physical?vapor?deposition，PVD)如：濺鍍法或蒸鍍法等，都需要在真空環(huán)境下才能實(shí)施，即這類機(jī)臺(tái)必需搭配真空腔體(chamber)以及真空閥門才能實(shí)施。以目前常用的真空閥門的構(gòu)造而言，主要分為直進(jìn)式開閉動(dòng)作的閘閥(gate?valve)以及搖臂式開閉動(dòng)作的鐘擺閥(pendulum?valve)等。若必須使用在大尺寸場(chǎng)合時(shí)，為避免內(nèi)外壓差造成的形變，上述閥門的厚度必須增加，而隨著閥門內(nèi)外壓差產(chǎn)生時(shí)的作用力增加，閥門的剛性必須隨著厚度三次方提升。因此，公知的閥門結(jié)構(gòu)，只要尺寸增加，結(jié)構(gòu)的剛性是以非等比例增加。當(dāng)閥門必須作得厚重時(shí)，驅(qū)動(dòng)閥門的設(shè)備也必須更換成功率輸出更大的驅(qū)動(dòng)裝備，會(huì)使閥門結(jié)構(gòu)造價(jià)變得十分昂貴。而且公知的閥門結(jié)構(gòu)，容許的壓差普遍都低于30mbar(約22.5torr)。因此，公知的閥門構(gòu)造，若要使用于大尺寸尤其是多片式的制備工藝上時(shí)，具有閥門太厚重且不好控制以及制作成本過(guò)高等缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種具有可擴(kuò)充的功能的閥門總成。

本發(fā)明的又一目的在于提供一種閥門，適合安裝于閥門總成以適用于大尺寸基材的真空模塊，且具有可擴(kuò)充的功能。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的閥門總成，包括：

一腔體，具有多個(gè)通道配置于該腔體的一側(cè)邊，使該腔體由該些通道與外界連通，其中該側(cè)邊具有相對(duì)于該腔體內(nèi)的一第一面以及暴露于該腔體外的一第二面；

一閥門，具有多個(gè)子閥門，其中該些子閥門分別對(duì)應(yīng)該些通道；以及

一電磁作動(dòng)件，配置于該腔體的該側(cè)邊，且適于吸附該閥門，使該些子閥門對(duì)應(yīng)地閉闔于該些通道。

所述的閥門總成，其中，該閥門具有多個(gè)連接件，與該些子閥門交錯(cuò)排列，且各該子閥門可拆卸地連接于各該連接件。

所述的閥門總成，其中，包括一氣壓作動(dòng)件，該閥門位于該氣壓作動(dòng)件與該腔體的該側(cè)邊的該第二面之間，該氣壓作動(dòng)件適于驅(qū)動(dòng)該閥門往該腔體移動(dòng)，使該些子閥門對(duì)應(yīng)地覆蓋該些通道。

所述的閥門總成，其中，該氣壓作動(dòng)件具有多個(gè)氣動(dòng)口分別對(duì)應(yīng)該些子閥門。

所述的閥門總成，其中，各該連接件具有至少一卡合部配置于該連接件的邊緣，與該些子閥門卡合。

所述的閥門總成，其中，該閥門具有至少一推桿，連接于該些子閥門其中之一。

所述的閥門總成，其中，包括一彈性件連接于該閥門，以輔助該閥門離開該腔體。

所述的閥門總成，其中，該閥門閉闔于該腔體時(shí)，該腔體與外界之間具有一壓差，且該壓差介于零至一大氣壓(1atm或760torr)之間。

所述的閥門總成，其中，該腔體具有多個(gè)子腔體，且各該子腔體對(duì)應(yīng)各該通道。

所述的閥門總成，其中，該腔體具有多個(gè)密封組件分別配置于各該通道的周圍。

所述的閥門總成，其中，該閥門的材料包括金屬。