1.一種決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，包含：

提供多個照明光源；

提供每個所述照明光源的一模擬最佳關聯性和一模擬失焦關聯性，其中所述模擬最佳關聯性表示一給定照明光源的一最佳強度的位置函數，而所述模擬失焦關聯性表示一給定照明光源的一失焦強度的位置函數；

決定所述模擬最佳關聯性的一最佳峰值，和所述模擬失焦關聯性的一失焦峰值；

計算所述最佳峰值與所述失焦峰值的一峰值變化；以及

將多個所述照明光源中具有一最低峰值變化的一照明光源決定為具有最佳聚焦深度的一照明光源。

2.根據權利要求1所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述模擬最佳關聯性是由一光刻機臺所決定的。

3.根據權利要求2所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述模擬失焦關聯性是調整所述光刻機臺的一光刻參數，使該參數偏離一最佳值而得。

4.根據權利要求1所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，對于每個所述照明光源而言，進行最多兩次模擬，而獲得所述模擬最佳關聯性和所述模擬失焦關聯性。

5.根據權利要求1所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述模擬最佳關聯性的所述最佳峰值是所述模擬最佳關聯性的最大最佳強度。

6.根據權利要求1所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述模擬失焦關聯性的所述失焦峰值是所述模擬失焦關聯性的最大失焦強度。

7.根據權利要求1所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述峰值變化是由下式計算所得：

峰值變化=（所述最佳峰值-所述失焦峰值）/（所述最佳峰值）。

8.一種決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，包含：

提供多個照明光源；

提供每個所述照明光源的一模擬最佳關聯性和一模擬失焦關聯性，其中所述模擬最佳關聯性表示一給定照明光源的一最佳強度的位置函數，而所述模擬失焦關聯性表示一給定照明光源的一失焦強度的位置函數；

決定所述給定照明光源的一最佳關聯性斜率和一失焦關聯性斜率，其中所述最佳關聯性斜率表示在一給定尺寸下的所述模擬最佳關聯性的一斜率，而所述失焦關聯性斜率表示在一給定尺寸下的所述模擬失焦關聯性的一斜率；

自所述最佳關聯性斜率計算一最佳關聯性比率，以及自所述失焦關聯性斜率計算一失焦關聯性比率；

計算所述最佳關聯性比率與所述失焦關聯性比率的一關聯性變化；以及

將多個所述照明光源中具有一最低關聯性變化的一照明光源決定為具有最佳聚焦深度的一照明光源。

9.根據權利要求8所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述模擬最佳關聯性是由一光刻機臺所決定的。

10.根據權利要求9所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述模擬失焦關聯性是通過調整所述光刻機臺的一光刻參數，使該參數偏離一最佳值而得。

11.根據權利要求8所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，對于每個所述照明光源而言，最多進行兩次模擬可獲得所述模擬最佳關聯性和所述模擬失焦關聯性。

12.根據權利要求8所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述給定尺寸為一半導體裝置的一關鍵尺寸。

13.根據權利要求8所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述最佳關聯性比例是由下式計算所得：

所述最佳關聯性比例=（所述最佳關聯性斜率）/（在所述給定尺寸的所述最佳強度）。

14.根據權利要求8所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，其中所述失焦關聯性比率是由下式計算所得：

所述失焦關聯性比率=（所述失焦關聯性斜率）/（在所述給定尺寸的所述失焦強度）。

15.根據權利要求8所述的決定具有最佳聚焦深度的照明光源的方法，其特征在于，所述關聯性變化是由下式計算所得：

所述關聯性變化=（所述最佳關聯性比例-所述失焦關聯性比率）/（所述最佳關聯性比例）。