[發(fā)明專(zhuān)利]高可靠SOI LDMOS功率器件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210103676.4 | 申請(qǐng)日: | 2012-04-10 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102623506A | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-08-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 姜一波;杜寰 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L29/78 | 分類(lèi)號(hào): | H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司: | 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302 | 代理人: | 劉麗君 |
| 地址: | 100029 *** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 可靠 soi ldmos 功率 器件 | ||
1.一種高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,包括:
在SOI?LDMOS功率器件的頂層硅中,注入有高濃度的埋層和接觸注入?yún)^(qū),且埋層與接觸注入?yún)^(qū)連接;
通過(guò)所述埋層可充分抽取SOI?LDMOS功率器件中SOI?LDMOS柵附近的載流子,并經(jīng)所述接觸注入?yún)^(qū)引出,控制SOI?LDMOS柵附近的電位。
2.如權(quán)利要求1所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:
所述SOI?LDMOS是指以絕緣層上硅工藝所制成的橫向雙擴(kuò)散晶體管器件。
3.如權(quán)利要求2所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,所述絕緣層上硅工藝包括:
注氧隔離SIMOX或硅片鍵合反面腐蝕。
4.如權(quán)利要求3所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:
SOI?LDMOS的頂層硅是指埋氧層上制作半導(dǎo)體器件的區(qū)域。
5.如權(quán)利要求4所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:
所述接觸注入?yún)^(qū)與源端引出短接,使其電位與源區(qū)電位相等。
6.如權(quán)利要求5所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:
所述接觸注入?yún)^(qū)單獨(dú)接入一電位;
對(duì)于N型SOI?LDMOS,高濃度的P型接觸注入?yún)^(qū)連接并引出P型埋層,并與低于源端的電位連接;
對(duì)于P型SOI?LDMOS,高濃度的N型接觸注入?yún)^(qū)連接并引出N型埋層并與低于源端的電位連接。
7.如權(quán)利要求5或6所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,所述接觸注入?yún)^(qū)包括:
高濃度接觸注入?yún)^(qū)或金屬接觸引出區(qū);
所述金屬接觸引出區(qū)中的金屬包括鋁、銅、鎢或其化合物。
8.如權(quán)利要求5或6所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,
所述埋層設(shè)在埋氧層表面或埋氧層與器件表面之間的位置;
所述埋層的范圍為器件工作區(qū)域的一部分、器件工作的全部區(qū)域或者整個(gè)SOI基底。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L29-00 專(zhuān)門(mén)適用于整流、放大、振蕩或切換,并具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體器件;具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘,例如PN結(jié)耗盡層或載流子集結(jié)層的電容器或電阻器;半導(dǎo)體本體或其電極的零部件
H01L29-02 .按其半導(dǎo)體本體的特征區(qū)分的
H01L29-40 .按其電極特征區(qū)分的
H01L29-66 .按半導(dǎo)體器件的類(lèi)型區(qū)分的
H01L29-68 ..只能通過(guò)對(duì)一個(gè)不通有待整流、放大或切換的電流的電極供給電流或施加電位方可進(jìn)行控制的
H01L29-82 ..通過(guò)施加于器件的磁場(chǎng)變化可控的





