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[發(fā)明專(zhuān)利]高可靠SOI LDMOS功率器件有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201210103676.4 申請(qǐng)日: 2012-04-10
公開(kāi)(公告)號(hào): CN102623506A 公開(kāi)(公告)日: 2012-08-01
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 姜一波;杜寰 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
主分類(lèi)號(hào): H01L29/78 分類(lèi)號(hào): H01L29/78;H01L29/06
代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302 代理人: 劉麗君
地址: 100029 *** 國(guó)省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 可靠 soi ldmos 功率 器件
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,包括:

在SOI?LDMOS功率器件的頂層硅中,注入有高濃度的埋層和接觸注入?yún)^(qū),且埋層與接觸注入?yún)^(qū)連接;

通過(guò)所述埋層可充分抽取SOI?LDMOS功率器件中SOI?LDMOS柵附近的載流子,并經(jīng)所述接觸注入?yún)^(qū)引出,控制SOI?LDMOS柵附近的電位。

2.如權(quán)利要求1所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:

所述SOI?LDMOS是指以絕緣層上硅工藝所制成的橫向雙擴(kuò)散晶體管器件。

3.如權(quán)利要求2所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,所述絕緣層上硅工藝包括:

注氧隔離SIMOX或硅片鍵合反面腐蝕。

4.如權(quán)利要求3所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:

SOI?LDMOS的頂層硅是指埋氧層上制作半導(dǎo)體器件的區(qū)域。

5.如權(quán)利要求4所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:

所述接觸注入?yún)^(qū)與源端引出短接,使其電位與源區(qū)電位相等。

6.如權(quán)利要求5所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于:

所述接觸注入?yún)^(qū)單獨(dú)接入一電位;

對(duì)于N型SOI?LDMOS,高濃度的P型接觸注入?yún)^(qū)連接并引出P型埋層,并與低于源端的電位連接;

對(duì)于P型SOI?LDMOS,高濃度的N型接觸注入?yún)^(qū)連接并引出N型埋層并與低于源端的電位連接。

7.如權(quán)利要求5或6所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,所述接觸注入?yún)^(qū)包括:

高濃度接觸注入?yún)^(qū)或金屬接觸引出區(qū);

所述金屬接觸引出區(qū)中的金屬包括鋁、銅、鎢或其化合物。

8.如權(quán)利要求5或6所述的高可靠SOI?LDMOS功率器件,其特征在于,

所述埋層設(shè)在埋氧層表面或埋氧層與器件表面之間的位置;

所述埋層的范圍為器件工作區(qū)域的一部分、器件工作的全部區(qū)域或者整個(gè)SOI基底。

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