偷拍一区二区三区_亚洲欧美日韩偷拍_亚洲第一免费网站_99精品视频在线免费观看_久久亚洲精品国产_国产成人无码一二三区视频_欧美激情xxxxx_国产精品毛片高清在线完整版_一色道久久88加勒比一_一区二区欧美久久_五月婷婷六月婷婷_国产精品成人久久久久

[發明專利]一種制備區熔硅單晶的鑄造區熔氣摻法無效

專利信息
申請號: 201210059754.5 申請日: 2012-03-08
公開(公告)號: CN102534751A 公開(公告)日: 2012-07-04
發明(設計)人: 張雪囡;高樹良;王彥君;李建宏;沈浩平 申請(專利權)人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
主分類號: C30B13/12 分類號: C30B13/12;C30B13/28;C30B29/06
代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105 代理人: 莫琪
地址: 300384 天津市西*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 制備 區熔硅單晶 鑄造 區熔氣摻法
【權利要求書】:

1.一種制備區熔硅單晶的鑄造區熔氣摻法,其特征在于,采用鑄造法制備多晶硅,之后對多晶硅進行切方、滾磨、開槽和開圓錐機加工,以加工后的多晶硅棒作為區熔硅單晶原料,采用區熔氣摻法進行拉晶,且在開始拉晶時通入定量的摻雜氣,摻雜氣可以是磷烷或硼烷;摻雜氣為磷烷時,硅熔體中摻雜劑濃度達到值c0/k=1.7×1014?atom/cm3至6.5×1021atom/cm3范圍之后即停止通入摻雜氣;摻雜氣為硼烷時,硅熔體中摻雜劑濃度達到值c0/k=7.6×1013到1.6×1021atom/cm3范圍之后即停止通入摻雜氣;若區熔單晶硅摻雜劑目標濃度為c0則控制硅多晶的摻雜劑平均濃度值為c0,k為摻雜劑偏析系數;所述方法包括如下步驟:?

a)??????采用鑄造法制備多晶硅,然后對多晶硅進行切方、滾磨、開槽和開圓錐機加工;

b)??????以機加工后制得的多晶硅棒為原料,采用區熔氣摻法進行拉晶,通過現有技術,控制多晶硅棒橫截面摻雜劑濃度均為初始濃度c0;區熔拉晶時,從擴肩階段開始通入定量摻雜氣,通過現有氣摻技術,在保持階段使得硅熔體中摻雜劑的濃度值達到:c0/k,之后停止通入摻雜氣;

c)??????保持階段,假設結晶體積為V0,則流入的新熔體體積為V0,硅熔體體積恒定不變,結晶的硅單晶中摻雜劑濃度為c0,則硅熔體摻雜劑減少量為c0*V0,而新增加的摻雜劑為c0*V0,摻雜劑總量不變,最終,硅熔體摻雜劑濃度維持在c0/k,使硅單晶的濃度也穩定在c0這一目標值;

????根據上述步驟制備獲得的區熔硅單晶軸向及徑向電阻率均勻性達到RRV<8%。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于天津市環歐半導體材料技術有限公司,未經天津市環歐半導體材料技術有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.17sss.com.cn/pat/books/201210059754.5/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
日本少妇毛茸茸高潮| 色姑娘综合av| 亚洲天堂一二三| 欧美精品久久久久久久免费观看 | 91天堂在线观看| 五月婷在线视频| 一区在线电影| 亚洲福利小视频| 美国黑人一级大黄| 99高清视频有精品视频| 亚洲国产精品久久久男人的天堂| 日韩精品无码一区二区三区久久久 | 欧美日韩美少妇| 中文字幕在线观看网址| 色狠狠桃花综合| 蜜乳av中文字幕| 欧美色视频日本高清在线观看| 九九热在线免费| 三级不卡在线观看| 成人午夜在线观看| 久久99精品国产麻豆婷婷洗澡| 日韩欧美三级电影| 亚洲一区二区三区四区在线观看 | 国产激情久久久久| 国产一区二区电影| 国产亚洲欧美在线精品| 国产精品第2页| 自拍偷拍第八页| 美日韩在线视频| 亚洲欧美另类日韩| 日本一区二区三区免费看 | 亚洲一区日韩精品| 日韩欧美国产精品一区| 国产免费看av| 这里只有精品视频在线| 私库av在线播放| 久久97精品久久久久久久不卡| 中文字幕日本视频| 成人精品久久久| 99久久伊人久久99| japanese中文字幕| 91精品国产亚洲| 成人黄色国产精品网站大全在线免费观看| 欧美亚洲另类久久综合| 亚洲aⅴ怡春院| 乱h高h女3p含苞待放| 国产精品视频一| 久久精品欧美日韩| 日本少妇xxx| 孩xxxx性bbbb欧美| 无码国产伦一区二区三区视频| 国产精品视频在线观看| 亚洲精品国产手机| 国产 欧美 日本| 国产香蕉精品视频一区二区三区 | 国产一区二区三区中文字幕| 欧美性受xxxx黑人猛交88| 7777精品伊人久久久大香线蕉经典版下载 | 日韩精品视频网址| 国产精品吴梦梦| 一区免费观看视频| 免费黄色片网站| 久久久久久久久久久网站| 黄色小视频免费在线观看| 你懂的网址一区二区三区| 中文字幕在线视频一区| 97人妻精品一区二区免费| 亚洲国产精品999| 国产69精品一区二区亚洲孕妇| 超碰在线超碰在线| 国产精品福利网站| 亚洲主播在线观看| 91亚洲精品国偷拍自产在线观看 | 潮喷失禁大喷水aⅴ无码| 国产精品久久久久久久小唯西川| 天天色 色综合| 99久久久国产精品无码网爆| 波多野结衣家庭教师在线观看| 日本久久久久久久久久久| 欧美日韩亚洲视频一区| 久久国产精品72免费观看| 国产乱淫av片| av一区二区三区免费| 国产婷婷成人久久av免费高清| 粉嫩一区二区三区性色av| 国产一级理论片| 中文字幕乱码人妻综合二区三区| 成人精品一区二区三区电影黑人| 亚洲国产高清自拍| 亚洲女人****多毛耸耸8| 亚洲av永久纯肉无码精品动漫| 亚洲一区二区三区日韩| 狠狠干 狠狠操| 最新精品视频| 亚洲一区三区视频在线观看| 91免费观看| 欧美另类99xxxxx| 97视频热人人精品| 668精品在线视频| 久久精品中文字幕免费mv| 亚洲精选中文字幕| 日韩精品一区二区三区视频播放| 中文字幕亚洲不卡| 成人免费观看视频| 久视频在线观看| 真实国产乱子伦对白在线| 美女又黄又免费的视频| 免费欧美一级视频| 国产精品裸体瑜伽视频| 中文字幕第三区| 波多野结衣三级视频| 日本黄色www| 国产麻豆xxxvideo实拍| 污污内射在线观看一区二区少妇| 在哪里可以看毛片| 伊人手机在线视频| 久久这里只有精品免费| 日韩精品一区二区三区国语自制| 中文字幕av无码一区二区三区| 精品爆乳一区二区三区无码av| 黄色一级免费视频| 亚洲美女免费视频| 国产91色在线|亚洲| 国产大片aaa| 国产日本欧洲亚洲| 亚洲第一天堂av| 久久视频在线免费观看| 欧美一级黑人aaaaaaa做受| 久久香蕉视频网站| 亚洲欧美在线观看视频| www.97av| 麻豆91在线播放| 丁香桃色午夜亚洲一区二区三区| 成人午夜福利视频| 国产一区二区三区日韩| 亚洲欧美自偷自拍| 欧美日韩情趣电影| 久久国产精品首页| 国产主播欧美精品| 日韩精品久久久免费观看| 欧美黄色aaa| 丁香亚洲综合激情啪啪综合| 99综合电影在线视频| 日韩av中文在线观看| 中文字幕永久在线观看| 成人性生交大合| 久久久久久9999| 亚洲国产精品嫩草影院久久| 91久久国产精品| 香蕉免费毛片视频| 欧美日韩福利视频| 91精品国产色综合久久久蜜香臀| 精品国产免费人成电影在线观看四季| 亚洲毛片在线免费观看| 96pao国产成视频永久免费| 97国产精东麻豆人妻电影| 国产资源中文字幕| 国产一级免费视频| 久久久综合九色合综国产精品| 日韩欧美999| 91精品国产99| 欧美日韩成人免费视频| 538精品在线观看| 成人av在线资源| 亚洲国产精品精华液网站| 69精品小视频| 思思久久精品视频| 国产黄色一级大片| 91在线观看污| 欧美午夜宅男影院| 欧美风情在线观看| 99在线观看视频免费| 亚洲伊人成人网| 亚洲午夜免费视频| 91在线观看免费高清完整版在线观看| 精品少妇久久久| 偷拍一区二区三区| av无码精品一区二区三区| 爽好多水快深点欧美视频| 亚洲激情中文1区| 亚洲图片欧美日产| 一卡二卡3卡四卡高清精品视频| 中文字幕乱码av| 亚洲欧洲性图库| 国产精品丝袜视频| 国产福利在线导航| 激情懂色av一区av二区av| 欧美激情第三页| 五月六月丁香婷婷| 国产成人精品一区二区无码呦| 欧美一级片在线看| 精品一区二区三区毛片| 美女脱光内衣内裤视频久久影院| 中文字幕免费国产精品| 久久一区免费| 精品国产无码AV| 亚洲成人亚洲激情| 久久久久久久久久福利| 日日摸天天添天天添破| 国产精品视频在线看| 777精品视频| 91视频免费在观看| 欧美性极品xxxx娇小| 亚洲国产午夜伦理片大全在线观看网站 | 色欲AV无码精品一区二区久久| 亚洲欧洲制服丝袜| 精品精品欲导航| 欧美人与性囗牲恔配| 亚洲黄色av女优在线观看| 美女在线视频一区二区| 91麻豆蜜桃一区二区三区| 欧美精品一区在线| 中文字幕av第一页| 97久久久久久| 在线免费观看av网址| 色老头一区二区三区| 男女男精品视频网站| 欧美日韩成人综合天天影院 | 谁有免费的黄色网址| 国产视频一区在线| 亚洲一级av无码毛片精品| 欧美性猛交xxx| 亚洲午夜久久久久久久久红桃 | 黄网动漫久久久| 日韩欧美在线免费观看视频| 欧美韩国日本一区| 婷婷五月色综合| 国产三级三级三级精品8ⅰ区| www日韩视频| 成人欧美一区二区三区白人| 成人在线观看毛片| 亚洲一区在线观看免费| 性活交片大全免费看| 欧美精品一卡二卡| av在线无限看| 欧美一区二区不卡视频| 精品无码一区二区三区电影桃花| 欧美一级成年大片在线观看| 国产男女裸体做爰爽爽| 久久99久久精品国产| 99久久免费视频.com| 日本a级片免费观看| 欧美撒尿777hd撒尿| 91 在线视频| 欧洲中文字幕国产精品| 99在线精品观看| 日韩欧美黄色大片| 欧美日韩一区二区在线视频| 久久精品黄色片| 国产精品免费视频xxxx| 99久久精品国产网站| 蜜臀av一区二区三区有限公司| 一个人www欧美| 久久这里只有| 9.1在线观看免费| 久久精品国产亚洲| 国产在线一区观看| 无码人妻一区二区三区在线| 一本一道久久a久久精品| 成人在线观看小视频| 2019av中文字幕| 成人毛片老司机大片| 国内自拍偷拍视频| 欧美壮男野外gaytube| 国产综合成人久久大片91| 欧美三级理论片| 日韩精品一区二区三区第95| 日本视频一区二区| 亚洲国产综合视频| 成人性教育视频在线观看| 欧美性大战久久久久久久蜜臀| 国产又爽又黄免费软件| 香蕉精品视频在线| 亚洲第一精品福利| 成人中文字幕合集| 国产传媒免费在线观看| 日韩av电影院| 欧美三级在线视频| 久久国产欧美日韩精品| 又黄又色的网站| 欧美一区二区三区免费视| 7777女厕盗摄久久久| 午夜成人免费影院| 一区二区三区四区五区| 欧美影视一区二区| 精品国内产的精品视频在线观看| 亚洲欧洲制服丝袜| 美女黄页在线观看| 韩国中文字幕av| 国产精品日韩一区二区| 日韩最新av在线| 91精品国产综合久久精品图片| 老司机精品视频在线| a级片在线观看视频| 日韩理论片在线观看| 国产精品麻豆va在线播放| 欧美精品日日鲁夜夜添| 国产麻豆午夜三级精品| 亚洲黄色小说图片| 国产无遮挡猛进猛出免费软件 | 欧美丰满少妇xxxx| 亚洲精品成人a在线观看| av在线资源观看| 久久久久久久久久久97| 好男人www社区| 久久综合九色综合网站| 性日韩欧美在线视频| 在线成人一区二区| 91精品久久久久久久久99蜜臂| 欧美日韩一区二区免费在线观看| 久久欧美一区二区| 国产精品一区二区无线| 午夜精品久久久久久久久久久久久蜜桃| 亚洲一区精品视频在线观看| 日韩精品免费一区| 欧美一区二区三区精美影视| 九色综合日本| 国产剧情久久久久久| 九色精品免费永久在线| 在线看国产精品| 日韩中文在线观看| 高清欧美性猛交| 中文字幕亚洲无线码a| 欧美日韩日本视频| 欧美精彩视频一区二区三区| 2023国产精品自拍| 国产网站一区二区| 92精品国产成人观看免费| 国产成人在线观看| 国产日韩欧美一区二区三区综合| 久久久久综合网| 一区二区三区国产精品| 在线观看免费亚洲| 日韩欧美美女一区二区三区| 亚洲精品美女在线| 97激碰免费视频| 成人av色在线观看| 99久热re在线精品996热视频| 精品无码久久久久国产| 手机成人av在线| 欧美伦理视频在线观看| 97人妻精品一区二区三区免费| 中文字幕无码人妻少妇免费| 久久久久久久久久97| 97久久人国产精品婷婷| 国产剧情一区二区三区| 亚洲精品久久嫩草网站秘色| 日韩三级免费观看| 国内精品视频久久| 黄色一区三区| 国产无限制自拍| 老鸭窝一区二区| 一级黄色片视频| 国产成人自拍网| 日本韩国欧美国产| 日韩视频亚洲视频| 亚洲精品一品区二品区三品区 | 中文在线最新版天堂| 久久精品视频在线免费观看| 欧美四级电影网| 国产精品99久久久久久www| 亚洲国产精品无码观看久久| 亚洲成人精品在线播放| 中文字幕视频二区| 亚洲国产精品激情在线观看| 亚洲激情在线视频| 久热国产精品视频一区二区三区| 波多野结衣免费观看| 97在线播放免费观看| 亚洲国产成人av网| 欧美亚洲国产另类| 日韩伦理在线免费观看| 国产精品99精品无码视| 91小视频在线免费看| 色先锋资源久久综合5566| 日韩精品最新在线观看| 日韩a级片在线观看| 国产精品国产成人国产三级| 久久福利视频导航| 少妇av一区二区三区无码| 伊人成人在线观看| 五月天一区二区三区| 国产精品久久久久久久久果冻传媒| 99re这里只有精品首页| 亚洲电影在线播放| 色综合久久中文字幕综合网小说| 亚洲一区尤物| 天天综合天天干| 99在线精品观看| 中文字幕在线日韩| www.亚洲视频.com| 无码免费一区二区三区| 亚洲电影在线播放| 亚洲国产欧美不卡在线观看| 麻豆疯狂做受xxxx高潮视频| 国产精品激情偷乱一区二区∴| 俺去了亚洲欧美日韩| 亚洲视频一二三四| 成人性生交大片免费看视频在线 | 欧美网站在线观看| 99精品国产高清一区二区| 清纯粉嫩极品夜夜嗨av| 亚洲成人av福利| 在线视频福利一区| 免费高清在线一区| 欧美成人精品在线观看| 一级全黄裸体片| 国产精品女主播在线观看| 亚洲a在线播放| 国产日本精品视频|