1.一種掃描式測頭測量裝置，其包括有機械測頭部分和光柵信號處理部分；其特征在于：在所述的機械側頭部分中包括有兩層平行簧片結構組；所述的兩層平行簧片結構相互垂直；與測頭外殼(2)相連有測頭Y軸固定端(25)，Y軸固定端(25)固接有Y軸光柵讀數頭(23)；轉接板(22)呈L形，其一支端連接有X軸光柵讀數頭(18)，另一支端上固定有Y軸光柵尺(27)，X軸光柵讀數頭(18)與Y軸光柵尺(27)的位置相互垂直；所述的Y軸光柵讀數頭(23)正對Y軸光柵尺(27)；兩塊側板(24)分別通過簧片(16)與Y軸固定端(25)和轉接板(22)相連，兩塊側板(24)分別位于所述Y軸光柵尺(27)的兩側且相互平行；

X軸移動端(19)上固接有X軸光柵尺(17)，X軸光柵尺(17)正對著X軸光柵讀數頭(18)；兩塊側板(24)通過簧片(16)與X軸移動端(19)和轉接板(22)的一個支端相連，兩塊側板(24)分別位于X軸光柵尺(17)的兩側并相互平行；測針(3)固定于X軸移動端(19)上；所述的X軸光柵讀數頭(18)與Y軸光柵讀數頭(23)相互垂直；

由X軸光柵讀數頭(18)和Y軸光柵讀數頭(23)分別引出光柵線纜(7)，光柵線纜(7)接入光柵信號處理部分的光柵信號接口(15)。

2.根據權利要求1所述的一種掃描式測頭測量裝置，其特征在于：所述的Y軸固定端(25)與Y軸讀數頭(23)通過連接桿(26)和測頭連接件(21)連接；所述的轉接板(22)一支端與X軸讀數頭(18)通過連接桿(26)和測頭連接件(21)連接。

3.根據權利要求1所述的一種掃描式測頭測量裝置，其特征在于：在側板(24)上連接有限位擋板(28)，限位擋板(28)上設計有便于鎖定螺釘(1)伸入實現鎖緊功能的螺孔；移動端(19)上設計有與限位擋板(28)上的螺孔相配合的螺孔；需要鎖緊時，鎖定螺釘(1)從移動端(19)上的預留孔伸入與擋板(28)上的螺孔配合，實現鎖緊功能；讀數頭連接件(21)與擋板(28)之間設計有起到限位和緩沖的作用的橡膠墊(20)。

4.根據權利要求1所述的一種掃描式測頭測量裝置，其特征在于：光柵信號處理部分包括光柵信號接口、電源模塊、放大整形電路、FPGA模塊、DSP模塊、ISA接口模塊、串口模塊；用于接收三路光柵信號的光柵信號接口連接至光柵位移傳感器的輸出端，再與將輸入信號做放大整形處理的放大整形電路連接，放大整形電路的輸出端與做四倍頻變相細分的處理的FPGA模塊相連，FPGA模塊再與可以做數據轉換和處理的DSP模塊的數據總線連接，DSP模塊與串口模塊相連，同時FPGA模塊還與ISA接口相連；電源轉換模塊(11)輸入端與ISA接口連接，輸入所需電壓，同時輸出端與DSP模塊(10)以及FPGA模塊(12)連接，給芯片提供所需電壓；程序下載接口(13)與DSP模塊(10)以及FPGA模塊(12)連接，給芯片下載相應的程序。