[實用新型]高純鍺多晶制備區熔爐有效

申請號：	201120226613.9	申請日：	2011-06-30
公開（公告）號：	CN202164385U	公開（公告）日：	2012-03-14
發明（設計）人：	白爾雋	申請（專利權）人：	白爾雋
主分類號：	C30B29/08	分類號：	C30B29/08;C30B28/08
代理公司：	深圳市遠航專利商標事務所 44276	代理人：	褚治保
地址：	518060 廣東省深圳市南山***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	高純多晶制備熔爐
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【權利要求書】：

1.一種高純鍺多晶制備專用設備，包括底座(9)、小車軌道(10)、小車(11)、石英管(2)及石英管支架(6)，原料鍺錠(12)放置于石英管(2)內，石英管(2)管口用密封圈(7)密封，并在石英管(2)兩端分別設有氫氣進口(1)及氫氣出口(8)，其特征在于，所述小車(11)上固定有高頻加熱線圈(4)，所述高頻加熱線圈(4)為寬度1～3cm的雙層線圈，并環繞于所述石英管(2)外部；所述原料鍺錠(12)放置于石英舟(3)凹槽內，石英舟(3)放置于所述石英管(2)內。

2.根據權利要求1所述的高純鍺多晶制備專用設備，其特征在于，所述石英舟凹槽(31)內表面涂有硅防護層。

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