1.一種對(duì)位裝置，其用于進(jìn)行用來檢查測(cè)量的基板的對(duì)位，其特征在于，

上述對(duì)位裝置包括：

攝像部，其用于拍攝上述基板的圖像；

存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ)利用上述攝像部拍攝的高倍制程程序圖像、以及利用上述攝像部拍攝的低倍制程程序圖像，該高倍制程程序圖像被設(shè)定了用于進(jìn)行上述檢查測(cè)量的測(cè)量部位，該低倍制程程序圖像包含上述高倍制程程序圖像的視場(chǎng)區(qū)域，并具有范圍比該高倍制程程序圖像大的視場(chǎng)區(qū)域；

檢索部，其用于檢索倍率與上述存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的上述高倍制程程序圖像相等的、利用上述攝像部拍攝的用于進(jìn)行上述檢查測(cè)量的檢查圖像在上述低倍制程程序圖像內(nèi)的位置；

計(jì)算部，在上述檢索部的檢索的結(jié)果為上述測(cè)量部位偏離于上述檢查圖像的視場(chǎng)區(qū)域內(nèi)的情況下，該計(jì)算部用于計(jì)算出包含該檢查圖像及上述測(cè)量部位的位置在內(nèi)的位置信息；以及

控制部，其根據(jù)上述計(jì)算部所計(jì)算出的上述位置信息，移動(dòng)了上述攝像部以使上述測(cè)量部位進(jìn)入上述檢查圖像的視場(chǎng)區(qū)域內(nèi)，之后使上述攝像部拍攝檢查圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，

上述檢索部用于將上述檢查圖像的像素分辨率縮小成與上述低倍制程程序圖像的像素分辨率相等而進(jìn)行檢索。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，

上述低倍制程程序圖像的視場(chǎng)區(qū)域的面積是上述高倍制程程序圖像的視場(chǎng)區(qū)域的面積的2倍以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，

上述高倍制程程序圖像的視場(chǎng)中心的位置與上述低倍制程程序圖像的視場(chǎng)中心的位置對(duì)齊。

5.一種對(duì)位方法，其是由對(duì)位裝置所進(jìn)行的對(duì)位方法，該對(duì)位裝置用于使基板圖像的位置對(duì)準(zhǔn)，該對(duì)位裝置包括：攝像部，其用于拍攝用來檢查測(cè)量的上述基板圖像；以及存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ)高倍制程程序圖像和低倍制程程序圖像，該高倍制程程序圖像被設(shè)定了用于進(jìn)行上述檢查測(cè)量的測(cè)量部位，該低倍制程程序圖像包含上述高倍制程程序圖像的視場(chǎng)區(qū)域，并具有范圍比該高倍制程程序圖像大的視場(chǎng)區(qū)域；其特征在于，上述對(duì)位方法包括以下步驟：

檢查圖像拍攝步驟，拍攝用于進(jìn)行檢查測(cè)量的檢查圖像，該檢查圖像是用于進(jìn)行測(cè)量的基板的圖像，且是以與上述高倍制程程序圖像相等的倍率拍攝的；

檢索步驟，檢索上述檢查圖像在上述低倍制程程序圖像內(nèi)的位置；

計(jì)算步驟，在上述檢索步驟中檢索的結(jié)果為上述測(cè)量部位偏離于上述檢查圖像的視場(chǎng)區(qū)域內(nèi)的情況下，計(jì)算出包含該檢查圖像及上述測(cè)量部位的位置在內(nèi)的位置信息；以及

移動(dòng)拍攝步驟，根據(jù)在上述計(jì)算步驟中計(jì)算出的上述位置信息，移動(dòng)了上述攝像部以使上述測(cè)量部位進(jìn)入上述檢查圖像的視場(chǎng)區(qū)域內(nèi)，之后使上述攝像部拍攝檢查圖像。