[發明專利]一種制絨白斑單晶硅片的返工工藝無效
| 申請號: | 201110209139.3 | 申請日: | 2011-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN102270702A | 公開(公告)日: | 2011-12-07 |
| 發明(設計)人: | 林濤;李勇;陳清波;馮帥臣;張耀明;張茂勝 | 申請(專利權)人: | 江蘇伯樂達光伏有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 鄭瑋 |
| 地址: | 224051 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 白斑 單晶硅 返工 工藝 | ||
1.一種制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,包括:
對白斑單晶硅片進行高溫處理,使所述白斑單晶硅片表面殘留的雜質揮發;
對高溫處理后的所述白斑單晶硅片進行制絨工藝,去除單晶硅片表面的白斑。
2.如權利要求1所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,對所述白斑單晶硅片進行溫度逐漸升高的高溫處理。
3.如權利要求2所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,利用燒結爐對所述白斑單晶硅片進行高溫處理,所述高溫處理包括:
設定所述燒結爐內各個溫區的工作溫度,并使所述燒結爐內的溫度達到各個所述工作溫度;
所述白斑單晶硅片從所述燒結爐的進口進入,經過溫度逐漸升高的各個溫區至所述燒結爐的出口。
4.如權利要求3所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,靠近所述燒結爐進口的溫區溫度為200℃~220℃,靠近所述燒結爐出口的溫區溫度為850℃~1000℃。
5.如權利要求4所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,將所述白斑單晶硅片放置在貫穿所述燒結爐的傳輸絲網上,通過所述傳輸絲網的運輸使所述白斑單晶硅片依次經過溫度逐漸升高的各個溫區。
6.如權利要求5所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,所述傳輸絲網傳輸的帶速為4米/分鐘~6米/分鐘。
7.如權利要求1至6中任一項所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,所述制絨工藝包括:
對所述白斑單晶硅片進行預清洗,預清洗完畢后用去離子水將所述白斑單晶硅片沖洗干凈;
采用氫氧化鈉、異丙醇以及制絨添加劑的混合液制絨,制絨完畢后用去離子水沖洗干凈;
對已去除白斑的單晶硅片進行酸洗以去除所述單晶硅片的金屬離子雜質以及所述單晶硅片表面的氧化層,酸洗后用去離子水沖洗干凈;
對所述單晶硅片進行烘干。
8.如權利要求7所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,采用異丙醇溶液對所述白斑單晶硅片進行預清洗。
9.如權利要求7所述的制絨白斑單晶硅片的返工工藝,其特征在于,采用鹽酸溶液去除所述單晶硅片的金屬離子雜質,采用氫氟酸溶液去除所述單晶硅片表面的氧化層。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江蘇伯樂達光伏有限公司,未經江蘇伯樂達光伏有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.17sss.com.cn/pat/books/201110209139.3/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種鐵磁半導體晶體及其制備方法
- 下一篇:一種高強度礦山機械用鋼及其制造方法
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





